研判2025！中国半导体湿法设备超纯槽体行业成本、市场规模、产业链及竞争格局分析：市场规模增长，国产替代加速[图]

内容概要：半导体湿法设备超纯槽体是半导体湿法设备用于盛放晶圆片、化学清洗液、去离子水等物品的容器，是半导体湿法设备的关键部件。近年来，随着科技的不断进步，国产半导体清洗设备不断精进，半导体清洗设备的超纯槽体成本增加。2024年我国半导体清洗设备的超纯槽体成本约为21万元，较2023年增长3.5万元。半导体湿法设备超纯槽体作为半导体湿法设备的“心脏”，市场规模逐渐增长。2024年我国半导体湿法设备超纯槽体市场规模约为3.03亿元，较2023年增长0.22亿元。

上市企业：至纯科技[603690]、北方华创[002371]、盛美上海[688082]、芯源微[688037]

相关企业：江苏沃凯氟、上海沃特华本半导体、苏州霓佳斯、苏州芯矽科技、浙江孚诺林、东岳集团、内蒙三爱富、阿科玛、巨化股份、山东华安、常熟苏威、中化蓝天、日本株式会社、乳源东阳光氟、昊华科技

关键词：半导体湿法设备超纯槽体市场规模、半导体湿法设备超纯槽体市场竞争格局、半导体湿法设备超纯槽体行业发展前景

一、半导体湿法设备超纯槽体行业定义及特性

半导体湿法设备超纯槽体是半导体湿法设备用于盛放晶圆片、化学清洗液、去离子水等物品的容器。半导体湿法设备关键零部件之一，确保晶圆表面在湿法处理过程中不受污染，保障芯片制造的良率和可靠性。其核心特性主要有超高洁净度、耐腐蚀性、温度控制、密封性待。

二、半导体湿法设备超纯槽体行业发展现状

半导体湿法设备超纯槽体是半导体湿法设备的关键部件，主要用于容纳高纯度化学试剂（如氢氟酸、硫酸、氨水等），在晶圆清洗、蚀刻、去胶等工艺中提供稳定、无污染的化学反应环境。近年来，国产半导体清洗设备不断精进，是半导体设备中国产化率较高的类别之一。2024年我国半导体清洗设备的超纯槽体成本约为21万元，较2023年增长3.5万元。

超纯槽体是半导体湿法工艺中的核心组件，是半导体湿法设备的“心脏”。随着科技的不断进步，我国半导体湿法设备快速发展，同时，半导体湿法设备超纯槽体市场规模也逐渐增长。2024年，我国半导体湿法设备超纯槽体市场规模约为3.03亿元，较2023年增长0.22亿元。

相关报告：智研咨询发布的《中国半导体湿法设备超纯槽体行业市场现状调查及投资前景研判报告》

三、半导体湿法设备超纯槽体行业产业链

1、半导体湿法设备超纯槽体行业产业链结构

半导体湿法设备超纯槽体行业产业链上游主要包括FTFE、PFA、PVDF等原材料，以及注塑机、挤出机、加工中心等加工设备；行业中游为半导体湿法设备超纯槽体生产制造；行业下游应用于半导体湿法设备。

2、半导体湿法设备超纯槽体行业产业链上游-PVDF

PVDF树脂被长期用于半导体行业管路系统、湿式工作台、以及芯片制造设备内的其他装备，带来优异的超高纯度和耐化学性能。近年来，PVDF市场规模呈逐年增长趋势，2024年我国PVDF市场规模约为350亿元。

3、半导体湿法设备超纯槽体行业产业链下游-半导体清洗设备

半导体湿法设备超纯槽体主要应用于半导体清洗设备领域。近年来，随着国内半导体行业的快速发展，我国半导体清洗设备市场也呈现出强劲的增长势头。2024年中国半导体清洗设备市场规模为158.82亿元，较2023年增加30.71亿元；预计2025年中国半导体清洗设备市场规模有望达到195亿元。

四、半导体湿法设备超纯槽体行业竞争格局

半导体湿法设备超纯槽体对产品的技术要求较高，全球半导体湿法设备超纯槽体市场主要由几家主要企业占据主导地位，其中日本厂商迪恩士（DNS）占据领先地位。目前我国能够生产满足半导体制造要求的主要有沃凯氟、沃特华本、霓佳斯等企业。随着制程微缩与绿色制造需求，未来半导体湿法设备超纯槽体将向更高纯度、智能化监控、长寿命方向发展。随着国内企业如至纯科技、北方华创等加大自主槽体研发，国产替代加速。

以上数据及信息可参考智研咨询（www.chyxx.com）发布的《中国半导体湿法设备超纯槽体行业市场现状调查及投资前景研判报告》。智研咨询是中国领先产业咨询机构，提供深度产业研究报告、商业计划书、可行性研究报告及定制服务等一站式产业咨询服务。您可以关注【智研咨询】公众号，每天及时掌握更多行业动态。