2026年中国石英掩模版行业重点上市企业对比分析：龙图光罩、清溢光电、路维光电三家企业收入均保持增长，龙图光罩毛利率长期领先[图]

上市企业：清溢光电[688138]、路维光电[688401]、龙图光罩[688721]

相关企业：中科卓尔、中导半导体

一、企业简介

石英掩模版以高纯度石英玻璃为基材，具有高透过率、高平坦度、低膨胀系数等优点，成本较高，主要用于功率半导体、MEMS传感器、先进IC封装等高精度领域。

清溢光电[688138]、路维光电[688401]、龙图光罩[688721]三家以石英掩模版为主营产品的A股科创板上市公司：清溢光电（688138）、路维光电（688401）、龙图光罩（688721）。三家公司均于上海证券交易所科创板上市。三家企业总部均位于广东省深圳市，构成国内掩模版行业的“深圳军团”，在区域上高度集聚于珠三角电子信息产业带。

二、企业基本情况及业务布局

从设立与上市节奏看，三家公司成立时间跨度较大：清溢光电最早成立于1997年（迄今近三十年），龙图光罩成立于2010年，路维光电成立于2012年；上市节奏则呈阶梯式--清溢光电2019年率先登陆科创板，路维光电2022年上市，龙图光罩最晚于2024年上市，成立至上市间隔分别为约22年、14年、10年。三家公司总部均注册于深圳：清溢光电在南山区、路维光电在前海合作区、龙图光罩在宝安区，区域集聚特征明显。

三家公司虽同处掩模版赛道，但业务版图存在明显分野，可归为两类。第一类为“平板显示+半导体”双布局的综合型掩模版厂商，以清溢光电、路维光电为代表：清溢光电以深圳、合肥、佛山（在建/试产）为基地，产品按基板材质覆盖石英、苏打及其他，下游横跨平板显示、半导体芯片、触控、电路板；路维光电以深圳为总部，布局成都、苏州、厦门（在建）四大基地，2025年定位为国内高世代高精度平板显示掩模版与先进封装掩模版龙头，半导体制程布局国内领先（14nm）。第二类为纯半导体掩模版专业厂商，以龙图光罩为代表：其无平板显示掩模版业务，专注功率半导体、MEMS、IC封装等特色工艺半导体掩模版，采用深圳（130nm及以上）+珠海（高端制程90/65nm，2025年二季度投产）双基地模式。共同的新方向是向更高制程、半导体高端掩模版延伸并推进国产化替代。

三、石英掩模版产销模式、产能与产品型号

三家公司石英掩模版的产销模式高度趋同，均采取定制化“以销定产”的生产方式与“直销为主”的销售模式，采购端“以销定采”并适度备货，体现出掩模版作为客户专属“图形底片”的行业特性。工艺路线上，三家均已构建从CAM版图处理、光刻、显影刻蚀到检测修补的全流程能力，并在半透膜（HTM）、相移掩模（PSM）、OPC补偿、电子束光刻等中高端工艺上持续突破。产品世代与制程方面，清溢光电与路维光电覆盖平板显示全世代（G2.5-G11）并实现180nm半导体量产；路维光电通过路芯半导体布局至28nm，2025年半导体制程达国内领先（14nm）；龙图光罩专注半导体，量产节点2025年提升至90nm、65nm送样、40nm设备布局。

四、公司经营业绩

从整体营收规模看，2023-2025年三家公司呈“两大多小”格局：清溢光电由9.24亿元增至12.40亿元居首，路维光电由6.72亿元增至11.55亿元、2025年已逼近清溢光电，龙图光罩维持在2.4-2.5亿元区间，体量约为前两者的两成。石英掩模版均为各公司绝对主业，收入占比极高：清溢光电与路维光电三年保持在91%-93%区间，呈强依赖特征；龙图光罩石英收入占比由78.79%升至83.19%，虽略低但同样构成绝对主导。增长动能分化明显：路维光电石英收入同比由2023年的+5.87%跃升至2024、2025年的+30%以上，增速最快；清溢光电由+25.63%逐年放缓至+13.42%；龙图光罩则由+16.53%降至+2.38%，2025年近乎持平。毛利率是分化最剧烈的指标：龙图光罩虽体量最小但毛利率最高（2023年约60.10%、2024年57.55%），2025年大幅回落至44.18%；路维光电稳定在33%-35%区间；清溢光电最低但逐年改善（26.77%→30.20%）。龙图光罩的高毛利与其聚焦高精度的半导体特色工艺掩模版、且2024年深圳工厂产能偏紧有关，而2025年珠海新基地投产爬坡、产品结构变化带动毛利率显著下行。

五、企业石英掩模版产销量

产销量维度，清溢光电与路维光电以“平方米”计量、龙图光罩以“片”计量，单位不可直接横向比较，但各自的量增趋势一致。清溢光电石英掩模版产量由2023年的3801.26平方米增至2025年的4958.80平方米，三年累计增约30%；路维光电由2672.98平方米增至4218.78平方米，累计增约58%，扩张更快。龙图光罩以片计，产量由2024年的40891片增至2025年的46754片（+14.34%），销量同步增至46758片。库存信号方面，清溢光电2024年库存同比+104.30%后2025年趋稳（+2.81%）；路维光电2025年库存量同比+148.38%，年报称主要系期末石英掩模版库存商品增加；龙图光罩库存维持在80片左右的极低水平（2024年82片、2025年78片），产销率接近100%，反映其以销定产、订单驱动特征显著。

六、上市企业研发投入

研发投入呈现“绝对规模清溢居首、投入强度龙图最高”的分化。清溢光电研发投入由2023年的0.49亿元增至2025年的0.64亿元，规模居三家之首；路维光电保持在0.35-0.38亿元、2025年微降至0.37亿元；龙图光罩虽规模最小（0.20-0.27亿元）但投入强度最高，占营收比重由9.24%升至11.10%，且逐年加码。与之相对，清溢光电占比在4.89%-5.30%间波动、路维光电由5.24%降至3.17%，后者的强度下滑系营收高速增长（分母扩大）带来的被动稀释。

七、公司发展规划

三家公司的发展规划高度聚焦于“扩产能、攻高端、推国产替代”三条主线。扩产方面，清溢光电推进佛山基地（合计拟投资35亿元）2025下半年试生产，路维光电建设厦门高世代基地（总投资20亿元、11条产线、2026年封顶投产）并推进路芯半导体130-28nm项目，龙图光罩以珠海基地为支点加速产能爬坡。攻高端制程方面，清溢光电规划2026年量产90-40nm、2027-2028年攻坚28nm；路维光电借路芯布局28-14nm；龙图光罩2025年90nm量产、推进65nm验证与40nm开发、启动28nm储备。国产替代方面，三家公司均将突破高端/高世代掩模版国产化作为核心战略。行业判断上，龙图光罩年报援引第三方数据指出全球独立第三方掩模版占比约35%、被美日企业占80%以上，国内高端掩模版国产化率仅约3%，认为130nm及以上已进入国产替代后期、130-28nm为攻关主方向、28nm以下暂无法涉及--这一判断也印证了三家公司向上游制程与材料延伸的必要性。

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