研判2025！全球及中国前道量检测设备发展背景、市场规模、企业格局及未来趋势分析：市场规模稳步扩张，行业格局高度集中，国产化程度较低[图]

内容概要：前道量检测设备作为半导体设备市场的重要组成，其市场规模在半导体设备中仅次于薄膜沉积设备、光刻机、刻蚀设备。据SEMI数据统计，前道量检测设备约占半导体设备市场规模的13%。半导体质量控制贯穿集成电路制造的关键环节，对芯片生产的良品率的影响至关重要。数据显示，2024年全球半导体检测和量测设备市场规模达到152.2亿美元，同比增长18.7%。随着制程越来越先进、工艺环节不断增加，行业发展对工艺控制水平提出了更高的要求，制造过程中检测设备与量测设备的技术要求及需求量持续提升。近年来，得益于中国半导体全行业的蓬勃发展和国家近年来对半导体产业持续的政策扶持，行业下游晶圆厂在关键工艺节点上持续推进，多家国内领先的半导体制造企业进入产能扩张期，中国大陆半导体检测与量测设备的市场处于高速发展期。2020-2024年期间，中国大陆半导体检测与量测设备市场规模的年均复合增长率达30%，2024年市场规模达438亿元。前道量检测设备广泛应用于晶圆制造中多个工艺环节，具有技术壁垒高、制造难度大等特点，需要企业长时间的投入及技术积淀，供应市场呈现高度集中的格局。目前，全球前道量检测设备供应市场由KLA、AMAT、Hitachi等少数国际龙头企业主导，2024年前五家企业占据了全球超80%的市场份额，其中KLA市占率超50%，市场呈现“一超多强”格局。由于国内半导体产业起步相对较晚，前道量检测设备的国产化率较低。但近年来，随着我国半导体产业的快速发展，下游对前道量检测设备需求快速增长，涌现了中科飞测、上海精测、睿励仪器、卓海科技等具备前道量检测设备供应能力的企业。未来，随着国内企业对前道量检测设备技术原理、制造工艺等方面的进一步理解，设备的商业化进程将不断推进，国内品牌市场占有率有望得到进一步提升。

上市企业：中科飞测(688361)、天准科技(688003)、赛腾股份(603283)、精测电子(300567)、华兴源创(688001)等

相关企业：睿励科学仪器(上海)有限公司、宁波舜宇仪器有限公司、上海精测半导体技术有限公司、深圳市新凯来技术有限公司、无锡卓海科技股份有限公司、上海御微半导体技术有限公司、东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司、上海优睿谱半导体设备有限公司、南京中安半导体设备有限责任公司、奈米科学仪器装备(杭州)有限公司、高视科技(苏州)股份有限公司、匠岭科技（上海）有限公司、深圳市格灵精睿视觉有限公司、无锡光则科技有限公司

关键词：前道量检测设备发展背景、前道量检测设备市场规模、前道量检测设备企业格局、前道量检测设备发展趋势

一、前道量检测设备行业相关概述

前道量检测是半导体制造重要的质量检查工艺，涉及膜厚、折射率、膜应力等参数测量，以及各类表面缺陷检测等，对硅片厂/晶圆厂保障产品良率、产品一致性、降低成本等至关重要。前道量检测设备作为贯穿光刻、刻蚀等晶圆制造全过程的质量控制设备，根据功能用途的不同，可分为测量设备和检测设备。其中，测量设备主要用于量化描述晶圆的结构尺寸和材料性质，测量薄膜厚度、关键尺寸、刻蚀深度、表面形貌等物理学参数，以确保其符合设计要求；检测设备主要用于识别并定位晶圆表面或电路结构中存在的杂质颗粒沾污、机械划伤、晶圆图案缺陷等问题。

在摩尔定律的推动下，元器件集成度的大幅提高要求晶圆制造不断向更小制 程的工艺方向发展，工艺步骤和复杂程度大幅增加，工艺中产生缺陷的概率也会 大幅上升，需要通过各类型的前道量检测设备实现质量控制，保证每一道工序几 乎零缺陷时，才能最终实现较高的产品良品率。因此，前道量检测设备是晶圆制 造产线中不可或缺的核心设备之一。

相关报告：智研咨询发布的《中国前道量检测设备行业市场全景分析及产业前景研判报告》

二、半导体设备行业发展现状

半导体是支撑现代经济社会发展的战略性、基础性和先导性产业。半导体行业的发展水平和国家科技水平息息相关，其发展情况已成为全球各国经济、社会发展的风向标，是衡量一个国家或地区现代化程度和综合实力的重要标志。随着现代工业不断发展，半导体行业整体景气度持续提升，全球半导体设备市场呈现快速增长态势，2024年，全球半导体设备市场增长了10%，从2023年的略微下降中反弹，达到了1170亿美元的年度销售额历史新高。其中中国、韩国、中国台湾三地销售额分别占比42.3%、17.5%、14.1%。2025年上半年全球销售额达651.2亿美元，同比增长22.3%。

在经历了美国至日本，日本至韩国和中国台湾的两次产业转移后，目前全球半导体产业正向中国大陆加速转移，中国成为全球最大的半导体生产和消费国。2010年以来，中国逐步承接了半导体封测和晶圆制造业务并建立起初具规模的半导体设计行业生态，完成了半导体产业的原始积累，初步完成产业链布局。中国大陆正在成为全球半导体产能第三次扩张的重要目的地。大陆晶圆代工厂中芯国际、华虹集团，中国台湾晶圆代工厂台积电、联电、晶合等晶圆厂接连在大陆扩产、建厂，带动半导体设备销售额快速增长，2021年销售额实现58%的增幅。2022年在疫情、下游需求减弱等因素影响下，我国半导体设备销售额出现较大幅度下滑，2023年恢复增长态势。2024年中国市场半导体设备实现销售额495.5亿美元，同比增长35%。2025年上半年销售额为216.2亿美元，同比下滑13%。

三、前道量检测设备行业市场现状

1、市场规模

前道量检测设备作为半导体设备市场的重要组成，其市场规模在半导体设备中仅次于薄膜沉积设备、光刻机、刻蚀设备。据SEMI数据统计，前道量检测设备约占半导体设备市场规模的13%。

半导体质量控制贯穿集成电路制造的关键环节，对芯片生产的良品率的影响至关重要。数据显示，2024年全球半导体检测和量测设备市场规模达到152.2亿美元，同比增长18.7%。随着制程越来越先进、工艺环节不断增加，行业发展对工艺控制水平提出了更高的要求，制造过程中检测设备与量测设备的技术要求及需求量持续提升。

从技术原理上看，检测和量测包括光学检测技术、电子束检测技术和X光量测技术等。目前，在所有半导体检测和量测设备中，应用光学检测技术的设备占多数。据统计，2024年全球半导体前道量检测设备市场中，光学技术占比超80%。其次为电子束技术，占比约为14%。

近年来，得益于中国半导体全行业的蓬勃发展和国家近年来对半导体产业持续的政策扶持，行业下游晶圆厂在关键工艺节点上持续推进，多家国内领先的半导体制造企业进入产能扩张期，中国大陆半导体检测与量测设备的市场处于高速发展期。2020-2024年期间，中国大陆半导体检测与量测设备市场规模的年均复合增长率达30%，2024年市场规模达438亿元。

2、企业格局

前道量检测设备为高精密设备，需完成纳米级别的测量、检测工作，主要由传输单元、光路处理单元、信号单元、量检测单元等系统组成，包含成千上万个具体模块，涉及高真空腔传输技术、光谱检测技术、快速运算技术、高精度信号检测技术等，是光学、电学、机械学、算法、运动控制等多学科的技术结晶。前道量检测设备广泛应用于晶圆制造中多个工艺环节，具有技术壁垒高、制造难度大等特点，需要企业长时间的投入及技术积淀，供应市场呈现高度集中的格局。目前，全球前道量检测设备供应市场由KLA、AMAT、Hitachi等少数国际龙头企业主导，2024年前五家企业占据了全球超80%的市场份额，其中KLA市占率超50%，市场呈现“一超多强”格局。由于国内半导体产业起步相对较晚，前道量检测设备的国产化率较低。但近年来，随着我国半导体产业的快速发展，下游对前道量检测设备需求快速增长，涌现了中科飞测、上海精测、睿励仪器、卓海科技等具备前道量检测设备供应能力的企业。在国家政策支持下，我国半导体产业进入积极扩产的战略窗口期，前道量检测设备、关键配件的自主研发和国产化是行业重要发展方向，对于国内企业来说是历史性的机遇。

四、前道量检测设备行业发展趋势

1、国内品牌市场占有率有望得到提升

前道量检测设备市场需求旺盛但产业发展水平较低，行业被少数国际龙头企业所占据，不管是先进制程还是成熟制程市场，国内企业的市场份额均相对较少。但是，随着国家对前道量检测设备行业的政策扶持，以及国内相关企业的不断积累，未来前道量检测设备行业的发展路径将更加明晰。随着国内企业对前道量检测设备技术原理、制造工艺等方面的进一步理解，设备的商业化进程将不断推进，国内品牌市场占有率有望得到进一步提升。

2、检测和量测设备各项性能进一步优化

随着工艺不断进步，产品制程步骤越来越多，微观结构逐渐复杂，生产成本呈指数级提升。为了获取尽量高的晶圆良品率，必须严格控制晶圆之间、同一晶圆上的工艺一致性，因此对集成电路生产过程中的质量控制需求将越来越大。未来检测和量测设备需在灵敏度、准确性、稳定性、吞吐量等指标上进一步提升，保证每道工艺均落在容许的工艺窗口内，保证整条生产线平稳连续的运行。

以上数据及信息可参考智研咨询（www.chyxx.com）发布的《中国前道量检测设备行业市场全景分析及产业前景研判报告》。智研咨询是中国领先产业咨询机构，提供深度产业研究报告、商业计划书、可行性研究报告及定制服务等一站式产业咨询服务。您可以关注【智研咨询】公众号，每天及时掌握更多行业动态。