2019年中国半导体检测设备行业市场规模及应用领域分析：量测设备和缺陷检测设备是最主要的两个领域[图]

    半导体检测设备是半导体设备的一个重要分支，占半导体设备比重在15%左右。半导体检测从设计验证到最终测试都不可或缺，贯穿整个半导体制造过程。按照电子系统故障检测中的“十倍法则”，如果一个芯片中的故障没有在芯片测试时发现，则在电路板（PCB）级别发现故障的成本为芯片级别的十倍。

    2019年半导体行业受存储价格暴跌影响，全球半导体行业出现下滑。2019年全球半导体行业营收为4121亿美元，与2018年相比大跌12.1%，这是自2001年以来的最大降幅。2019年全球半导体设备销售额597.5亿美元，较2018年的645.3亿美元下降了7.41%。

    2014-2019年全球半导体设备销售情况

数据来源：公开资料整理

    从地区销售情况来看，中国台湾地区是2019年半导体设备的最大市场，销售额增长了68％，达到171.2亿美元，占比28.65%。中国大陆以134.5亿美元的销售额保持其第二大设备市场的地位。其次是韩国，为99.7亿美元，受存储市场大幅下滑影响，韩国2019年半导体设备销售额下降了44％。尽管日本，欧洲和世界其他地区的新设备市场萎缩，但北美设备销售额在2019年跃升了40％，达到81.5亿美元，这是该地区连续第三年增长。

全球半导体设备地区销售情况（单位：十亿美元）

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    智研咨询发布的《2020-2026年中国半导体检测仪器行业市场运行态势及未来发展前景报告》数据显示：预计2020年我国半导体设备将达1700亿元，其中检测设备占总设备17%（晶圆检测9%，过程工艺控制8%），预计我国半导体检测设备2020年规模在289亿元。从检测设备细分领域而言，量测设备和缺陷检测设备是最主要的两个领域，分为为117亿元和144亿元。

我国半导体设备投资额（亿元）

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国内半导体检测设备环节市场（亿元）

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    工艺控制检测设备即前道量测/检测设备，在半导体制造工艺过程中，对晶圆进行测量和检测，以保证在制造的过程中，关键的工艺参数满足设计要求，从而提升芯片制造的良品率。

    前道量测/检测设备占晶圆制造设备比例达10%

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    量测主要是对芯片的薄膜厚度、关键尺寸、套准精度等制成尺寸和膜应力、掺杂浓度等材料性质进行测量，以确保其符合参数设计要求；缺陷检测主要用于识别并定位产品表面存在的杂质颗粒沾污、机械划伤、晶圆图案缺陷等问题。

半导体检测设备主要环节设备（亿元）

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    检测设备细分到每个领域差异极大，在上游硅片、光刻胶、电子气体、超净高纯试剂、溅射靶材生产环节需大量的分析仪器，其中高端分析仪器比如质谱仪、光谱仪、色谱仪是必备仪器。

各环节需用到的设备

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高端分析仪器在半导体领域应用

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    全球前道检测领域前三甲分别为科磊半导体（美国）、应用材料（美国）、日立（日本），占率分别约为52%、12%、11%。国内前道检测领域主要企业有上海睿励、上海精测、中科飞测等，整体规模尚较小。

    量测设备格局

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