涂胶显影设备

涂胶显影设备-产业百科

涂胶显影设备（Track）是光刻工序中与光刻机配套使用的涂胶、显影及烘烤设备。近几年，国内涂胶显影设备生产企业在技术上取得进展，成功在下游客户端占据一席之地，涂胶显影设备产值快速增长，2024年我国涂胶显影设备行业产值增长到18.26亿元。作为光刻机的“重要搭档”，涂胶显影设备广泛应用于集成电路、OLED、LED、化合物半导体&功率器件等先进制造领域。随着下游电子、汽车、通信等行业需求的稳步增长，以及人工智能、云计算及大数据等新兴领域的快速发展，集成电路产业面临着新型芯片带来的产能扩张需求，为涂胶显影设备行业带来广阔的市场空间。