电子束光刻系统

研判2025！中国电子束光刻系统行业产业链、市场规模及重点企业分析：技术突破与挑战并存，展望高质量发展未来[图]

中国电子束光刻系统行业正经历从“跟跑”到“并跑”的关键跨越。国产设备已实现0.6纳米分辨率突破，多光束并行技术将产能提升至60片/小时，接近国际先进水平。例如，“羲之”电子束光刻机已量产8纳米线宽芯片，支撑量子芯片、碳基材料等前沿领域研发。2024年，中国电子束光刻系统行业市场规模约为2.94亿元，同比增长59.78%。