半导体设备特殊涂层零部件

2026年中国半导体设备特殊涂层零部件行业进入壁垒、市场政策、发展现状、竞争格局及发展趋势分析：外资企业在先进制程领域占据绝对主导地位[图]

半导体设备特殊涂层零部件，是指为满足半导体制造的超高洁净、耐强腐蚀、抗等离子体轰击、低颗粒污染、高耐磨等严苛工艺要求，在基体零部件表面通过物理、化学或气相沉积等技术制备特定功能涂层的核心组件。