半导体废气处理设备

2025年中国半导体废气处理设备‌行业产业链图谱、运行现状、重点企业及未来发展趋势研判：国产替代与智能化转型加速，行业市场规模有望突破25亿元[图]

半导体废气处理设备是专为晶圆制造、封装测试等环节设计的环保装备，其核心功能是通过物理、化学或生物方法，将生产过程中产生的挥发性有机物（VOCs）、酸性气体（如HF、Cl₂）、金属颗粒物等有害物质转化为无害物质，确保排放符合环保法规。