国产光刻机该如破局？我国已投入3387亿扶持，中企一个月产出两台[图]

    “我们不生产水，我们只是大自然的搬运工“，一家生产矿泉水公司的口号却与一家半导体企业的理念遥相呼应。自2017年台积电市值跃居为全球首位后，像美国英特尔这样的半导体企业也只能跟其身后。在掌门人张忠谋的带领下，台积电走了芯片代工这条路，并且成为了苹果、高通以及华为自研芯片离不开的代工厂。但代工巨头台积电的芯片制造设备对美国具有极大的依赖性，在美国对华为的步步紧迫下，为了防止中兴事件的再一次发生，华为芯片的代工也逐渐转向了国内芯片制造公司。

    华为砍掉台积电代工的5纳米芯片订单量是否转向国内供应链？

    根据有关消息，目前华为旗下的海思公司砍掉了交由台积电代工5纳米芯片的订单量，但如今仅有台积电和三星两大企业拿下了5纳米加工工艺，至于华为是否想扶持除屏幕之外的芯片国产供应链我们不得而知，根据目前的国际半导体形式，华为也必须打造一条可靠的国产芯片供应链。目前华为为自家手机新研制的14纳米级芯片麒麟710A，就是由中芯国际代工生产的芯片，这仅仅是华为从设计国产芯片到芯片制造国产化的第一步，而中芯国际能生产芯片的关键设备就是“光刻机”。

    中芯国际已经代工华为麒麟710A 14纳米级芯片并有能力实现量产

    与台积电本身的性质相似，中芯国际也是属于全球先进的芯片代工企业之一，自2000年成立的中芯国际经过上十年的发展，做到了全中国规模最大技术最为先进的芯片加工企业。而中芯国际能替华为代工14纳米芯片的原因在于，其已经掌握14纳米加工工艺并且实现了量产，这也是中国中高端半导体行业的里程碑。不仅如此中芯国际目前正在抓紧时间向着7纳米级芯片迈进，而且还斥资8.4亿人民币向ASML公司订购了一台极紫外光刻机，以谋求在7纳米级技术上有所突破。

    两年前中芯国际向ASML公司花费8.4亿订购的EUV光刻机至今未到货

    但令所有人没想到的是，这台堪称天价的芯片加工设备历经两年仍未交付，并且近期在美国的刁难下其交付仍然遥遥无期。那么EUV光刻机为何会卖出天价，相较于普通的DUV深紫外光刻机有什么不同呢？在硅晶圆加工成芯片的过程中，最为核心的就是紫外线曝光步骤。在光刻机激光器、能量控制器等准备就绪后，光掩膜台上已经放置好了印有芯片电路的光掩膜。在紫外线的曝光下，掩膜上的电路就会投射到曝光台上的晶圆，而且晶圆上已经涂抹了感光性的光刻胶，这时芯片设计电路就会在晶圆上刻蚀出现。

    相较于普通的DUV深紫外光刻机EUV光刻机有什么与众不同之处呢？

    而由光刻机激光器发出的紫外光对着芯片加工工艺有着关键的影响，芯片加工精度的提高与光源的波长有着紧密的联系。目前加工芯片应用最为广泛的光刻机当属DUV深紫外光刻机，这种光刻机的波长就是从436纳米逐渐缩小至193纳米的，但是这种光刻机加工芯片的极限为7纳米，想要进一步开发波长更短的DUV极为困难。所以ASML公司最终选择改变光源的方式，研制出采用13.5纳米极紫外光的光刻机，而且全球仅有其一家公司掌握EUV光刻机制造技术，其垄断地位自然决定了EUV光刻机的高价格。

    上月初中芯国际到货的一台光刻机并非是EUV极紫外光刻机

    在上月初一台来自ASML公司的光刻机被中芯国际接收，一时引起了不小的反响，但值得注意的是，这台光刻机并非EUV极紫外光刻机，而是一台DUV深紫外光刻机。中芯国际想要在7纳米以下芯片研制上有所建树，ASML公司的EUV光刻机可以说具有关键性的作用。国产光刻机虽然精度不高，但也在稳步发展中，如今中国光刻机的进展也有所突破。从上月开始中国安芯半导体公司在一个月左右陆续有两台光刻机出货，其国产化率高达70%，并且已经交付使用。

    中国安芯半导体公司在一个月左右生产交付了两台国产率70%的光刻机

    其中第一台光刻机的目的地是海康威视，主要被用作耳温枪的制造，第二台光刻机被国内一家研究所用于互补金属氧化物半导体领域的研究，这家靠翻新光刻机起家的企业已经转向了国产光刻机的研制，此次出货两台光刻机无疑让所有人耳目一新。目前我国国产光刻机的整体水平大致在90纳米左右，中科院在22纳米光刻机技术上有所进展，光刻机的研发只能一步步靠技术积累。如今中国成立的国家集成电路产业基金前期投入已经达到3387亿，目的就是为了扶持国产芯片、光刻机等半导体行业发展。未来国产光刻机的研发之路仍然任重道远，且交给时间来见证。