2026年中国ALD设备行业发展历程、市场规模、重点企业及行业趋势分析：后摩尔时代，ALD技术凭原子级精度跃居芯片制造核心[图]

内容概况：在“后摩尔时代”，原子层沉积（ALD）技术凭借其独特的原子级精度和优异的三维保形性，正从辅助工艺跃升为制造先进芯片三维结构的关键核心技术。2024年，中国ALD设备行业市场规模约为45.22亿元，同比增长7.23%。一方面，集成电路制造正持续向更先进的节点突破，制造工艺步骤成倍增加，直接拉动了对ALD设备的核心需求。另一方面，“超越摩尔”战略下的广阔应用正成为新的增长引擎。高效太阳能电池（TOPCon）的产业化、OLED柔性显示的精密薄膜封装、锂电池固态电解质涂层等新能源及新材料领域，正为ALD技术开辟远超传统半导体领域的巨大增量市场。

相关上市企业：微导纳米（688147）、拓荆科技（688072）、北方华创（002371）、中微公司（688012）

相关企业：江苏南大光电材料股份有限公司、江苏雅克科技股份有限公司、华友钴业股份有限公司、赣锋锂业股份有限公司、营口风光新材料股份有限公司、盈德气体集团有限公司、深圳市恒运昌真空技术股份有限公司、中芯国际集成电路制造有限公司、隆基绿能科技股份有限公司、宁德时代新能源科技股份有限公司、京东方科技集团股份有限公司、歌尔股份有限公司、迈瑞医疗国际股份有限公司

关键词：ALD设备、ALD设备市场规模、ALD设备行业现状、ALD设备发展趋势

一、行业概述

ALD（原子层沉积，Atomic Layer Deposition）设备是一种先进的薄膜制备技术。设备通过将两种前驱体以气体脉冲的形式交替引入反应器，两种前驱体之间靠真空泵抽取或惰性气体吹扫实现隔离，前驱体分子通过吸附在样品表面发生反应生成薄膜或团簇。即利用交替、自限性的表面化学反应，在基底上逐层生长出高度均匀、致密、保形性极佳的纳米级薄膜的工艺。

二、行业发展历程

中国ALD设备行业历经数十年发展，从技术引进到自主创新实现跨越式突破。20世纪70年代至2013年起步阶段，1974年芬兰科学家首提ALD技术后，国内早期依赖进口设备，中高端市场被ASM、TEL等海外厂商垄断；直至2010年复旦大学与芬兰Picosun合作举办首届ALD学术会议推动技术传播，同年4月沈阳拓荆成立并布局ALD技术，开启国产化探索。

2014-2018年进入自主研发阶段，北方华创启动ALD开发计划并承担国家02重大专项“28-14nm原子层沉积系统研发及产业化”项目，2016年微导纳米研发首台ALD原型机奠定产业化基础，2017年北方华创量产型单片ALD设备首次交付客户、微导纳米光伏ALD设备KF6000在通威太阳能等龙头企业完成量产验证，2018年微导纳米启动半导体ALD设备研发。

2019-2022年实现产业化突破，微导纳米半导体ALD设备研发完成并与国内主流半导体厂商签订订单，拓荆科技ALD设备陆续出货验证；2020年12月微导纳米首套国产高电介质ALD设备发货至国内晶圆厂并通过28nm工艺测试验证，2021年其量产型High-k ALD设备成功应用于28nm逻辑芯片生产线并获客户重复订单，同期致真设备（合肥）成立并推出首台单原子层精度设备；2022年微导纳米登陆科创板，拓荆科技PEALD和Thermal-ALD设备完成产业化验证。

2023年至今进入应用拓展阶段，2023年拓荆科技实现国内ALD设备装机量及薄膜工艺覆盖率双第一，2024年北方华创一次性推出三款ALD设备，致真设备杭州基地落成累计替代进口超百台，国产设备更在3D NAND、GAA晶体管等先进结构应用中取得关键突破，形成从光伏到半导体、从单一应用到多领域拓展的完整产业链，持续推动全球ALD技术发展进程。

三、行业产业链

ALD设备行业产业链上游主要包括金属有机前驱体、氧化剂、反应气体等原材料，以及高精度质量流量控制器（MFC）、真空泵、ALD专用阀组、等离子体源、加热平台和石英/SiC反应腔体等关键系统。产业链中游为ALD设备研发生产环节。产业链下游主要应用于半导体制造、光伏、新能源、显示面板、MEMS传感器、光学器件、生物医疗等领域。

随着“国产化”战略的十年深耕，中国集成电路产业正从“量”的扩张，向“质”的跃升和“结构”的优化进行深刻转型。2025年，中国集成电路产量为4842.79亿块，同比增长7.28%。而在此进程中，作为高端薄膜沉积核心装备的原子层沉积（ALD）设备，其战略重要性愈发凸显，已成为产业进阶不可或缺的精密基石。

相关报告：智研咨询发布的《中国ALD设备行业市场全景调研及投资前景研判报告》

四、市场规模

在“后摩尔时代”，原子层沉积（ALD）技术凭借其独特的原子级精度和优异的三维保形性，正从辅助工艺跃升为制造先进芯片三维结构的关键核心技术。2024年，中国ALD设备行业市场规模约为45.22亿元，同比增长7.23%。一方面，集成电路制造正持续向更先进的节点突破，制造工艺步骤成倍增加，直接拉动了对ALD设备的核心需求。另一方面，“超越摩尔”战略下的广阔应用正成为新的增长引擎。高效太阳能电池（TOPCon）的产业化、OLED柔性显示的精密薄膜封装、锂电池固态电解质涂层等新能源及新材料领域，正为ALD技术开辟远超传统半导体领域的巨大增量市场。

五、重点企业经营情况

中国ALD设备行业的竞争格局正在发生深刻变革，已从国际巨头的绝对垄断，演变为国产力量凭借差异化路径、在政策与市场需求双重驱动下奋起直追的多元竞争新局面。北方华创、拓荆科技、微导纳米为代表的国产领军企业强力冲击，不仅在光伏、显示等泛半导体领域取得了主导地位，更成功将量产型ALD设备导入国内28纳米及以上逻辑芯片和128层以上3D NAND存储芯片的生产线。

江苏微导纳米科技股份有限公司成立于2015年12月，是一家面向全球的半导体、泛半导体高端微纳装备制造商。公司形成了以原子层沉积（ALD）技术为核心，CVD等多种真空薄膜技术梯次发展的产品体系，专注于先进微米级、纳米级薄膜设备的研发、生产与应用。2025年前三季度，微导纳米营业收入为17.22亿元，同比增长11.48%；归母净利润为2.48亿元，同比增长64.83%。

北方华创科技集团股份有限公司始终秉承“推动产业进步，创造无限可能”的企业使命，立足半导体基础产品领域，深耕半导体装备、真空及锂电装备和精密电子元器件等业务领域。公司在薄膜沉积设备领域已形成了物理气相沉积（PVD）、化学气相沉积（CVD）、原子层沉积（ALD）、外延（EPI）和电镀（ECP）设备的全系列布局。2025年前三季度，北方华创营业收入为273.01亿元，同比增长32.97%；归母净利润为51.30亿元，同比增长14.83%。

六、行业发展趋势

1、技术演进驱动ALD从辅助走向核心，市场规模持续扩容

随着芯片制造步入3纳米以下节点，半导体的发展路径从平面微缩转向3D结构。对于环绕栅极（GAA）晶体管、千层堆叠的3D NAND以及未来的3D DRAM等复杂三维结构，传统薄膜技术已力不从心。ALD凭借其原子级精度和优异的台阶覆盖率，成为填充高深宽比沟槽、沉积关键介质层和栅极的唯一或首选技术，从辅助工艺升级为核心制造环节。同时，ALD的应用正从集成电路扩展到光伏、高端显示（OLED/Micro-LED封装）和新能源电池等领域，其中光伏钝化层和锂电池电极包覆已成为重要增长点。多重应用驱动下，全球ALD设备市场预计将以可观增速持续扩张。

2、深度国产替代进入攻坚期，本土厂商从“并跑”迈向“领跑”

外部供应链不确定性强化了装备自主可控的紧迫性，国产替代已成为行业核心主线。目前，以微导纳米、拓荆科技、北方华创为代表的头部企业，已在28nm及以上逻辑芯片和先进存储芯片的产线上实现批量应用与重复订单。未来的挑战与机遇在于向更先进制程的“深水区”突破，例如攻克2纳米及以下节点所需的新材料验证与工艺整合。在此过程中，领先企业正通过构建“ALD+CVD”产品平台、提供先进封装等整体解决方案来增强竞争力，并从满足“可用性”转向与客户共同进行前沿工艺研发的创新“领跑”。

3、应用场景拓展，向“超越摩尔”和原子制造领域革命性领域前进

未来的增长不只依赖于硅基半导体，更来自于颠覆性的新兴应用。一个革命性方向是粉体原子层沉积技术。它可将ALD的原子级包覆能力从平面基片扩展至三维粉末颗粒，为锂电池材料、催化剂、医药等产业带来变革。中国已将“粉体原子级包覆技术与装备”列为国家攻关任务，推动其产业化。另一重要方向是服务于硅光子、异质集成、MEMS传感器等“超越摩尔”领域的专用ALD设备。这些新兴赛道为ALD技术开辟了远超传统半导体尺寸微缩的、更加广阔的增量市场。

以上数据及信息可参考智研咨询（www.chyxx.com）发布的《中国ALD设备行业市场全景调研及投资前景研判报告》。智研咨询是中国领先产业咨询机构，提供深度产业研究报告、商业计划书、可行性研究报告及定制服务等一站式产业咨询服务。您可以关注【智研咨询】公众号，每天及时掌握更多行业动态。