2026年中国半导体WAT测试设备行业发展背景、市场规模、企业格局及未来趋势研判：市场规模突破12亿元，国产化水平有待进一步提升[图]

内容概况：WAT测试是指在半导体晶圆完成制程工艺后，在晶圆切割道（Scribe Line）的测试图案（test key）上所进行的电性测试，达到监控各步工艺正常和稳定。实施WAT测试需要使用特定的测试设备和仪器，这些设备的选择对于测试的准确性至关重要。现代WAT依赖精密仪器集群，包括参数分析仪、探针台和温控系统等。WAT测试设备是半导体测试的核心工艺检测设备，近年来，伴随着半导体产业的发展，全球WAT测试设备规模不断壮大，由2020年的4.0亿美元增至2025年的7.2亿美元，实现年复合增长率12.5%；期间2024年受晶圆厂新建产能不足影响，半导体WAT测试设备市场规模略有下滑。中国的半导体封测技术处于全球第一梯队，封测是我国半导体产业链中国际竞争力最强、自主化程度最高的环节之一。在WAT测试设备领域，我国也实现了较大突破，产品性能不断提升，产业规模明显扩张，市场规模由2020年的6.2亿元增至2025年的12.2亿元，期间年复合增长率为14.5%。中国半导体WAT测试设备行业呈现高度集中的寡头竞争格局，大部分市场份额被以Keysight、QualiTau为代表的海外企业占据，2024年Keysight占据了我国WAT测试机市场73.4%的份额，Keysight WAT 4082是目前业界主流WAT测试机，其一贯精确和稳定的性能有口皆碑。国内广立微、联讯仪器等企业正加速追赶。国内企业中，已有广立微、联讯仪器实现了WAT测试设备量产，打破了国外企业垄断地位，开启了国产化进程。

上市企业：广立微（301095.SZ）、华峰测控（688200）、矽电股份（301629）、长川科技(300604)

相关企业：苏州联讯仪器股份有限公司等

关键词：半导体WAT测试设备发展背景、半导体WAT测试设备市场规模、半导体WAT测试设备企业格局、半导体WAT测试设备发展趋势

一、半导体WAT测试设备行业相关概述

WAT测试是指在半导体晶圆完成制程工艺后，在晶圆切割道（Scribe Line）的测试图案（test key）上所进行的电性测试，达到监控各步工艺正常和稳定。晶圆允收测试（WAT）技术作为半导体制造过程控制的关键组成部分，其发展历程可追溯至1978年。作为行业先驱，台积电（TSMC）率先在该领域取得突破性进展，成功申请了"自动晶圆验收测试方法"专利。随着半导体制造工艺的不断演进，TSMC于1997年进一步获得"集成缺陷良率管理与查询系统"专利，标志着WAT技术在半导体制造过程控制中的应用进入新的发展阶段。

实施WAT测试需要使用特定的测试设备和仪器，这些设备的选择对于测试的准确性至关重要。现代WAT依赖精密仪器集群，包括参数分析仪、探针台和温控系统等。测试时，晶圆被真空吸附在载物台上，探针卡的微小探针精准接触测试结构，在毫秒级时间内完成数千个测量点的数据采集。部分高端设备还支持多站点并行测试，大幅提升效率。测试数据通过统计过程控制（SPC）软件实时分析，生成晶圆图（Wafer Map）直观显示参数分布。

相关报告：智研咨询发布的《中国半导体WAT测试设备行业市场全景调研及投资趋势研判报告》

二、半导体WAT测试设备行业发展背景

半导体产业已成为衡量一个国家科技实力和综合国力的重要标志，在数字化转型加速的背景下，半导体的战略地位更加凸显。近年来，全球主要国家和地区都在加大对半导体产业的扶持力度，旨在争夺半导体行业的主导地位。2023年全球半导体产业经历了长达一整年的“低位运行”，高库存、低需求、降投资、减产能持续在各个细分板块轮动。2024年全球半导体产业景气度逐步复苏，重新进入稳步增长的发展态势。根据WICA数据，受AI强劲市场需求影响，2025年全球半导体市场规模将增长至7189亿美元。随着“十四五”规划的深入实施和国家对集成电路产业的持续政策支持，中国已成为全球半导体制造产能增长最快的地区，2025年中国半导体行业市场规模将达2115亿美元，同比增长14.1%。

设备是半导体产业链重要环节之一。中国半导体设备产业链已初步形成了较为完整的体系，涵盖了从前端晶圆制造到后端封装测试的各个关键环节。中国已成为全球半导体设备市场的核心驱动力。SEMI报告显示，2025年前三季度，中国大陆半导体设备销售额达361.8亿美元，占全球市场销售额的36.6%，稳居榜首。

三、半导体WAT测试设备行业市场现状

WAT测试设备是半导体测试的核心工艺检测设备，近年来，伴随着半导体产业的发展，全球WAT测试设备规模不断壮大，由2020年的4.0亿美元增至2025年的7.2亿美元，实现年复合增长率12.5%；期间2024年受晶圆厂新建产能不足影响，半导体WAT测试设备市场规模略有下滑。

中国的半导体封测技术处于全球第一梯队，封测是我国半导体产业链中国际竞争力最强、自主化程度最高的环节之一。在WAT测试设备领域，我国也实现了较大突破，产品性能不断提升，产业规模明显扩张，市场规模由2020年的6.2亿元增至2025年的12.2亿元，期间年复合增长率为14.5%。

四、半导体WAT测试设备行业企业格局

中国半导体WAT测试设备行业呈现高度集中的寡头竞争格局，大部分市场份额被以Keysight、QualiTau为代表的海外企业占据，2024年Keysight占据了我国WAT测试机市场73.4%的份额，Keysight WAT 4082是目前业界主流WAT测试机，其一贯精确和稳定的性能有口皆碑。国内广立微、联讯仪器等企业正加速追赶。

国内企业中，已有广立微、联讯仪器实现了WAT测试设备量产，广立微WAT测试设备自2020年经几家典型客户示范性应用验收通过后，近两年开始规模化进入晶圆厂量产线。WAT设备经历了大量的调试、改进与检验才与客户产线相适配、达到量产标准，因而产品的客户粘性较高。目前，广立微的主力销售机型为性价比较高的T4000系列（针对成本较敏感的8英寸及以下产线）以及T4100S系列（并行测试设备，针对测试效率要求较高的12寸晶圆厂）。联讯仪器于2022年发布WAT6200系列（串行测试），2024年发布WAT6300系列（高压串行测试）及WAT6600系列（48路并行测试），主力机型为WAT6200系列，WAT6300系列、WAT6600系列正在送样验证中。

四、半导体WAT测试设备行业发展趋势

半导体WAT测试设备市场规模与晶圆制造行业的产能提升呈正相关。数据显示，预计2024年至2030年全球晶圆厂产能将以4.3%的复合年增长率扩张，晶圆制造厂产能扩张将带动WAT测试设备需求增长，行业规模将保持扩张态势。同时，国内企业将不断加大WAT测试设备研发与推广力度，未来将有更多的国产企业实现WAT测试设备量产，行业国产化水平将不断提升。随着中国半导体测试公司加快供应链国产化，积极寻求能配合适合自身工艺发展的供应商，国内WAT测试设备公司将迎来更大发展机遇。此外，在技术方面，半导体WAT测试设备未来的发展方向将聚焦于更复杂的测试阵列设计和并行测试能力的提升，以进一步缩短测试时间并降低成本。

以上数据及信息可参考智研咨询（www.chyxx.com）发布的《中国半导体WAT测试设备行业市场全景调研及投资趋势研判报告》。智研咨询是中国领先产业咨询机构，提供深度产业研究报告、商业计划书、可行性研究报告及定制服务等一站式产业咨询服务。您可以关注【智研咨询】公众号，每天及时掌握更多行业动态。