2025年中国自动物料搬送系统（AMHS）行业发展背景、市场规模、企业格局及未来趋势研判：行业规模将突破百亿元，国产化替代空间广阔[图]

内容概要：AMHS（自动物料搬送系统），也称为天车系统，主要用于快速准确按照工艺流程在生产设备之间搬送装载晶圆。通过该系统，可以大幅度减少晶圆在各个工艺机台的等待时间，极大提升生产效率，同时标准化的搬运过程可明显提高产品良率，通过无人化搬运减少人员误操作，降低人力成本，现广泛应用于半导体硅片厂、芯片制造厂、芯片封装厂。芯片生产过程中呈现出晶圆尺寸不断扩大的趋势，早期6英寸晶圆厂较少的采用AMHS系统，或采取部分区域的自动化方案，主要由于晶圆尺寸较小，搬运难度不高，设备采购与维护成本高，工艺设备标准化程度低等。晶圆尺寸从6英寸逐渐发展至8英寸、12英寸，重量也在不断增加，物料的安全搬运需求日益凸显，AMHS在12寸FAB厂已成为智能制造的标配。随着全球半导体产业的转移，中国大陆的半导体产业得到飞速发展，晶圆厂建厂数量逐年增加，使得AMHS赛道具有广阔的市场增量。中国AMHS行业发展迅速，2024年市场规模达86.9亿元，同比增长38.5%，2025年行业规模有望突破百亿元。晶圆制造领域对生产条件要求严苛，超过1000道的生产工序，紧凑的生产任务使得天车在厂内的运输频次高达10万次/天，对AMHS系统整体要求相对最高，市场需求最大，2024年中国晶圆制造领域AMHS市场规模达79.8亿元，占比超90%。其次，随着先进封装技术的发展，AMHS也开始逐步进入了封测领域。2024年封装测试领域AMHS市场规模为2.7亿元，占比3.1%。长期以来，全球AMHS市场被日本大福和村田机械垄断，两家企业合计市占率超过90%，国内AMHS国产化导入率尚不到10%。国内晶圆厂在与大福、村田等进口AMHS供应商合作时面临技术支持不及时、交期长、价格高等问题，国产替代势在必行。以国家大基金为主的半导体产业扶持战略，助推了一批新兴国产AMHS供应商的成长，包括弥费科技、道达智能科技、成川科技、铠铂科技、合肥欣奕华等。

上市企业：海晨股份（300873）、机器人（300024）、TCL科技(000100)、中芯国际(688981)、华虹公司(688347)、晶合集成(688249)、芯联集成(688469)等

相关企业：湖州运稳智能科技有限公司、弥费科技（上海）股份有限公司、华芯（嘉兴）智能装备有限公司、成川科技（苏州）有限公司、无锡芯运智能科技有限公司、合肥欣奕华智能机器股份有限公司、苏州新施诺半导体设备有限公司、江苏睿新库智能科技有限公司、苏州新施诺半导体设备有限公司、上海果纳半导体技术有限公司、格创东智科技有限公司、尊芯智能科技（苏州）有限公司

关键词：AMHS发展背景、AMHS发展历程、AMHS市场规模、AMHS企业格局、AMHS投融资动态、AMHS发展趋势

一、AMHS行业相关概述

AMHS（自动物料搬送系统），也称为天车系统，主要用于快速准确按照工艺流程在生产设备之间搬送装载晶圆。通过该系统，可以大幅度减少晶圆在各个工艺机台的等待时间，极大提升生产效率，同时标准化的搬运过程可明显提高产品良率，通过无人化搬运减少人员误操作，降低人力成本，现广泛应用于半导体硅片厂、芯片制造厂、芯片封装厂。

AMHS系统由硬件系统和软件系统构成。其硬件系统主要包括：空中悬挂式无人搬送车OHT、轨道及供电设备、通讯设备、空中悬挂式存储架STB、栈式仓储STK。其软件系统主要由以下部分组成：物料控制系统MCS、天车调度控制系统OCS和天车操作系统VCS。其中OHT和OCS为AMHS系统的核心部分。

相关报告：智研咨询发布的《中国自动物料搬送系统（AMHS）行业市场动态分析及发展趋势研判报告》

二、AMHS行业发展背景

经过多年发展，我国已经成为全球最大的集成电路市场之一，当前国内集成电路产量呈现出平稳增长的态势。在国家政策的支持、技术进步以及消费电子、汽车电子、工业控制等下游市场需求的驱动下，我国集成电路产业市场规模稳定增长。2015年我国集成电路产量仅为1087.2亿块，2024年增长至4514.2亿块，十年间实现翻倍增长。2025年1-8月，集成电路产量3429.1亿块，同比增长8.8%。AMHS在集成电路产业中承担着重要角色。

芯片生产过程中呈现出晶圆尺寸不断扩大的趋势，晶圆尺寸越大则每片晶圆上可以制造的芯片数量就越多，从而制造成本就越低。早期6英寸晶圆厂较少的采用AMHS系统，或采取部分区域的自动化方案，主要由于晶圆尺寸较小，搬运难度不高，设备采购与维护成本高，工艺设备标准化程度低等。晶圆尺寸从6英寸逐渐发展至8英寸、12英寸，重量也在不断增加，物料的安全搬运需求日益凸显，AMHS在12寸FAB厂已成为智能制造的标配。

根据SEMI统计，截至2024年末，全球共有193条12英寸量产晶圆厂。中国大陆地区上一轮晶圆厂产能扩张基本为12英寸产线，截至2024年末，中国大陆地区有62座12英寸量产晶圆厂（包含西安三星、无锡SK海力士、南京台积电等外资晶圆厂），预计2026年中国大陆地区12英寸晶圆厂量产数量超过70座，将对AMHS系统带来较大的需求。出货端，全球市场12英寸硅片的出货面积占比从2018年的63.83%增长至2024年的76.30%，已成为市场绝对主流，且预计未来12英寸硅片出货面积占比将进一步提升。

三、AMHS行业发展现状

1、发展历程

AMHS 发展大致分为四个阶段：前身阶段（1990-2000 年）、替代阶段（2000-2015 年）、完善阶段（2015-2020 年），智能阶段（2020 年至今），实现从早期的机械搬运向智能一体化转型。

2、市场规模

中国AMHS行业发展迅速，2024年市场规模达86.9亿元，同比增长38.5%，2025年行业规模有望突破百亿元。一方面随着全球半导体产业的转移，中国大陆的半导体产业得到飞速发展，晶圆厂建厂数量逐年增加，使得AMHS赛道具有广阔的市场增量。另一方面，国际环境的变化下，半导体国产替代加速。再加上国产供应商天然拥有本土化服务优势，能够持续不断完善产业链生态。同时，数字孪生、AI、智能运维、新型材料等技术的发展，也促进了AMHS底层技术的提高。

晶圆制造领域对生产条件要求严苛，超过1000道的生产工序，紧凑的生产任务使得天车在厂内的运输频次高达10万次/天，对AMHS系统整体要求相对最高，市场需求最大，2024年中国晶圆制造领域AMHS市场规模达79.8亿元，占比超90%。其次，随着先进封装技术的发展，AMHS也开始逐步进入了封测领域。2024年封装测试领域AMHS市场规模为2.7亿元，占比3.1%。

3、企业格局

长期以来，全球AMHS市场被日本大福和村田机械垄断，两家企业合计市占率超过90%，国内AMHS国产化导入率尚不到10%。这一格局的形成源于其先发技术优势、成熟的客户关系以及高筑的专利壁垒。AMHS的技术门槛较高，涉及精密机械设计、高级算法、实时控制和导航定位等多学科交叉。例如，单台OHT天车包含4000多个零部件，需在高速运行中保持极致的稳定性和可靠性。此外，软件算法的复杂性、客户对成熟案例的依赖以及专利限制，进一步提高了行业准入门槛。

国内晶圆厂在与大福、村田等进口AMHS供应商合作时面临技术支持不及时、交期长、价格高等问题，国产替代势在必行。以国家大基金为主的半导体产业扶持战略，助推了一批新兴国产AMHS供应商的成长。新兴的国产AMHS厂商进入半导体领域有极高的门槛，AMHS系统一旦出现故障将会影响整体产线的运营，会造成巨额损失（单日损失上千万美元），晶圆厂出于谨慎原则较难选用国产AMHS厂商，但目前已有少数国产企业AMHS系统交付给晶圆厂，进入规模化应用初始阶段。如2024年海晨股份半导体AMHS设备营收8074.60万元，显示面板AMHS设备营收4086.24万元。2025年7月，弥费科技第五代天帆SKYSAIL系列OHT智能天车系统在安徽12寸晶圆厂成功实现量产交付并获得复购订单。

4、投融资动态

在国产化替代趋势下，国内AMHS厂商纷纷崛起，凭借及时的服务响应、定制化满足客户需求、快速高效的交付能力和成本优势，正在逐步打破国外公司的垄断，并在不同的领域和方向获得突破，同时也获得了资本市场的关注。2024年以来，弥费科技、道达智能科技、成川科技、铠铂科技等多家AMHS厂商相继获得融资，2025年8月，铠铂科技完成A+轮融资，聚焦国产AMHS+CIM打造智能制造新底座；随后于10月成川科技完成超亿元B轮融资，加速AMHS国产化进程与全球化布局。

四、AMHS行业发展趋势

1、中国AMHS市场前景依旧明朗，国产化水平将不断提升

未来，中国晶圆制造产能扩张增速放缓，中国AMHS市场规模增速放缓。与此同时，随着AI技术加速渗透，本土厂商AMHS系统可靠性全面提升，加速获得客户验证，市场前景依旧明朗。预计到2027年末，中国AMHS行业市场规模将达到132.7亿元，同时本土企业将获得更多下游客户认可，国产化水平将不断提升，助力提高半导体产业链韧性。

2、AI、数字孪生等新技术将成为国内AMHS厂商实现“弯道超车”的突破口

目前国内AMHS技术确实与国外存在一定差距，我国AMHS供应商缺少“百台”以上AMHS落地案例，现有的技术瓶颈限制了国内AMHS设备商的出海步伐，新技术应用或许能成为破局关键点。例如，数字孪生技术应用在AMHS领域能缩短部署时间，实现可预测性维护；AI技术在车辆分配、路径规划、故障处理和数据分析领域的应用；AMR技术中的SLAM 定位算法、三维避障、集群调度在AMHS领域的运用；新型材料在PEEK 减轻重量方面的应用。这些新材料、新技术均能成为国内AMHS厂商实现“弯道超车”的突破口，是国内AMHS技术潜在的发展方向。

以上数据及信息可参考智研咨询（www.chyxx.com）发布的《中国自动物料搬送系统（AMHS）行业市场动态分析及发展趋势研判报告》。智研咨询是中国领先产业咨询机构，提供深度产业研究报告、商业计划书、可行性研究报告及定制服务等一站式产业咨询服务。您可以关注【智研咨询】公众号，每天及时掌握更多行业动态。