研判2025！中国半导体流量计行业产业链、市场规模及重点企业分析：行业发展支撑中国芯片精密制造，驱动半导体产业工艺升级[图]

内容概况：半导体流量计作为半导体制造过程中的关键部件，广泛应用于气体与液体流量的精确控制。随着中国半导体产业的快速发展，芯片制造、封装测试等环节持续扩张，对高精度、高性能半导体流量计的需求不断增加。2024年，中国半导体流量计行业市场规模为12.3亿元，同比增长9.82%。

相关上市企业：川仪股份（603100）

相关企业：广东奥迪威传感科技股份有限公司、北京志鸿恒拓科技有限公司、上海菱联自动化控制技术有限公司、重庆川仪自动化股份有限公司、晶晨半导体（上海）股份有限公司、紫光国芯微电子股份有限公司、中科寒武纪科技股份有限公司、海光信息技术股份有限公司、大洋电机新动力科技有限公司、上海电驱动股份有限公司、北方华创科技集团股份有限公司、中微半导体设备（上海）股份有限公司、拓荆科技股份有限公司、沈阳芯源微电子设备股份有限公司

关键词：半导体流量计、半导体流量计市场规模、半导体流量计行业现状、半导体流量计发展趋势

一、行业概述

半导体流量计是专为半导体制造设计的高精度流量测量与控制设备，用于监测和调节半导体工艺中液体或气体的线性/非线性、质量/体积流量。其核心特点是高精度（±0.5%FS以上）、耐腐蚀、宽量程（覆盖sccm至slm级）、快速响应（毫秒级），适配半导体行业对流体纯净度（如5N/6N级气体）和工艺稳定性的严苛要求。典型应用场景包括沉积、蚀刻、离子注入、清洗、CMP（化学机械抛光）等设备，以及气体供应系统、立式炉/卧式炉等。

二、行业产业链

半导体流量计行业产业链上游主要包括传感器（如加热元件、温度传感器、压差式传感器、超声波传感器、科里奥利传感器等）、控制与执行模块（如微处理器、算法芯片、驱动电路、氟橡胶、PTFE密封圈，真空泵、过滤器等）、结构与外壳（如铝合金、不锈钢、陶瓷、高纯度石英玻璃等）等。产业链中游为半导体流量计生产制造环节。产业链下游主要应用于半导体制造设备中，如沉积设备、蚀刻设备、立式炉/卧式炉/RTP等。

随着工业自动化、智能制造的推进，对于高精度、高性能传感器的需求不断增加。压力传感器作为其中的关键部件，在汽车制造、航空航天、石油化工等多个领域都有着广泛的应用，市场需求的持续释放推动了行业规模的扩大。2024年，中国压力传感器行业市场规模为714.2亿元，同比增长9.79%。在半导体制造中，压力传感器通过精准监测工艺气体压力、控制沉积/蚀刻环境，直接保障芯片良率。例如，热式质量流量控制器（MFC）依赖压力传感器实现±0.5%FS的流量精度，适配sccm级气体调控；压差式流量计则通过层流压差与流量线性关系，适配大流量腐蚀性气体（如Cl₂、NF₃）输送。此外，压力传感器在半导体设备状态监控、安全系统及环境控制中发挥关键作用，如维持洁净室气压稳定、监测气体泄漏等。

集成电路作为现代科技的核心部件，广泛应用于智能手机、电脑、汽车电子、物联网等多个领域。随着5G通信、人工智能、大数据等新兴技术的快速发展，市场对集成电路的需求持续攀升。特别是在5G智能手机的普及和物联网设备的广泛应用的推动下，集成电路的需求量大幅增加，这为中国集成电路产业的增长提供了广阔的市场空间。2025年1-8月，中国集成电路产量为3429.1亿块，同比增长20.53%。而在半导体制造过程中，气体与液体流量的精确控制至关重要，这使得半导体流量计成为制造设备中不可或缺的关键部件。随着集成电路产量的大幅增加，对半导体流量计的需求也相应增长。

相关报告：智研咨询发布的《中国半导体流量计行业市场动态分析及投资趋势研判报告》

三、市场规模

半导体流量计作为半导体制造过程中的关键部件，广泛应用于气体与液体流量的精确控制。随着中国半导体产业的快速发展，芯片制造、封装测试等环节持续扩张，对高精度、高性能半导体流量计的需求不断增加。2024年，中国半导体流量计行业市场规模为12.3亿元，同比增长9.82%。

四、重点企业经营情况

当前，中国半导体流量计行业呈现“龙头企业引领、细分领域分化、国产替代加速”的竞争格局。以北京华丞电子、格里机电、芯笙微纳为代表的企业占据技术制高点，在质量流量控制器（MFC）领域实现进口替代，如华丞产品精度达±0.5%FS，适配28nm及以上制程，氦气回收率超92%，市场占有率突破30%。未来，随着半导体产能扩张与技术创新，行业将加速向“技术+服务”双轮驱动转型，龙头企业通过垂直整合强化竞争优势，新兴企业聚焦细分赛道实现差异化突围，整体呈现“强者恒强、专精特新崛起”的竞争态势。

陕西易度智能科技有限公司作为国内首家通用型层流质量流量计厂商，由西工大团队创立，专注高精度层流压差技术研发。其产品精度达±0.5%FS，适配sccm级微流量控制，流量控制范围0.5SCCM-10000SLPM，通过3000万次疲劳测试无衰退。公司拥有20余项创新专利，获中国计量科学院CPA认证，是全球第二家能生产通用型层流质量流量计的企业。产品广泛应用于半导体、新能源等40+行业，服务5000+客户，形成西安研发中心辐射全国的体系，研发团队硕士占比超1/4，助力解决流体测控难题，填补国产高端流量计空白。

青岛芯笙微纳电子科技有限公司依托山东大学科研孵化，聚焦半导体工艺气体精准测控。其S300/S500系列MFC及DF500专用控制器采用热式/层流压差技术，精度±0.5%FS，毫秒级响应，量程比100:1。产品通过SEMI标准认证，拥有35+国家专利，温度补偿技术使温漂误差控制在1%以内，10L流量控制器波动仅±8sccm，优于竞品。服务1000+重点客户，参与CSEAC等行业展会，提供全生命周期技术支持，广泛应用于半导体沉积、蚀刻等工艺，推动国产设备进口替代，支撑产业链自主可控。

五、行业发展趋势

1、行业技术不断创新，驱动高精度与智能化升级

未来，中国半导体流量计行业将围绕“高精度、智能化、微型化”三大技术方向突破。高精度方面，通过MEMS技术、硅基传感器优化，实现±0.1%FS甚至更高精度的流量控制，满足先进制程（如3nm及以下）对气体/液体流量的严苛要求。智能化方面，AI算法将深度融入流量预测与工艺优化，例如通过机器学习分析历史数据，动态调整流量参数，降低气体消耗30%以上；数字孪生技术则可实现工艺全流程模拟，提前预警设备异常，提升良率。微型化方面，0.01sccm级超微流量控制技术将突破，适配纳米级沉积、蚀刻工艺需求。此外，碳化硅等新型材料的应用将提升设备耐腐蚀性，延长使用寿命，降低维护成本。

2、政策推动国产化替代，加速产业链自主可控

在政策驱动下，国产化替代将成为行业核心趋势。政策支持促使国内企业加大研发投入，提升产品性能和市场竞争力。未来，龙头企业如北京华丞、青岛芯笙将通过垂直整合，强化从传感器、阀门到控制系统的全链条研发能力。例如，华丞已实现MFC产品精度达±0.5%FS，氦气回收率超92%，有效替代进口产品；芯笙则通过热式/层流压差技术，实现毫秒级响应，适配CVD/PVD工艺。随着“十四五”规划对半导体产业链自主可控的持续推进，行业将形成“技术+服务”双轮驱动的竞争格局。

3、随着环保政策严控下，绿色制造与循环经济成新增长点

随着全球ESG要求趋严，绿色制造将成为半导体流量计行业的新增长点。一方面，企业将通过优化设计降低能耗，例如采用低功耗传感器、节能型阀门，减少设备运行成本；另一方面，循环经济模式将推广，如氦气回收率从92%提升至95%以上，减少稀有气体消耗。此外，模块化设计将支持设备快速升级与再制造，延长产品生命周期。例如，陕西易度通过层流压差技术，实现sccm级微流量控制，同时通过3000万次疲劳测试验证设备可靠性，降低客户更换频率。政策端，《国家计量行动方案》将持续推动高精度传感器研发，支持企业突破“双碳”目标下的绿色制造技术，形成“需求扩张-技术升级-成本优化”的良性循环，支撑半导体产业可持续发展。

以上数据及信息可参考智研咨询（www.chyxx.com）发布的《中国半导体流量计行业市场动态分析及投资趋势研判报告》。智研咨询是中国领先产业咨询机构，提供深度产业研究报告、商业计划书、可行性研究报告及定制服务等一站式产业咨询服务。您可以关注【智研咨询】公众号，每天及时掌握更多行业动态。