研判2025！中国白光干涉仪行业产业链、市场规模及重点企业分析：创新产品拓展应用版图，0.1纳米级检测能力引领高精制造需求[图]

内容概况：随着国内半导体产业、新能源汽车、航空航天等高精制造领域快速扩张，对亚纳米级表面形貌、薄膜厚度、粗糙度等参数的严苛检测需求激增。白光干涉仪作为关键检测工具，凭借其非接触、高精度、三维成像等特性，市场需求随产业升级持续攀升。2024年，中国白光干涉仪行业市场规模约为51亿元，同比增长13.33%。从技术来看，行业主流设备的分辨率已突破0.1纳米，动态测量范围扩展至200微米，多光谱融合技术使测量效率提升40%。这些技术进步不仅提升了设备的性能，还直接推动了设备单价的下降，使白光干涉仪在市场上的应用更加广泛。随着技术创新的不断推进，新型白光干涉仪产品不断涌现，如多波长干涉仪、非接触式白光干涉仪等。这些新型产品不仅丰富了市场产品线，还满足了不同行业对高精度检测设备的多样化需求。

相关上市企业：炬光科技（688167）

相关企业：舜宇光学科技（集团）有限公司、欧菲光集团股份有限公司、联创电子科技股份有限公司、浙江水晶光电科技股份有限公司、深圳光峰科技股份有限公司、上海韦尔半导体股份有限公司、立讯精密工业股份有限公司、陕西秦川机床工具集团有限公司、中电智能科技有限公司、中芯国际集成电路制造有限公司、北京兆易创新科技股份有限公司、中国微电子科技集团有限公司、深圳迈瑞生物医疗电子股份有限公司、安泰科技股份有限公司

关键词：白光干涉仪、白光干涉仪市场规模、白光干涉仪行业现状、白光干涉仪发展趋势

一、行业概述

白光干涉仪是利用干涉原理测量光程之差从而测定有关物理量的光学仪器。光源发出的光经过扩束准直后经分光棱镜分成两束，一束光经被测表面反射回来，另一束光经参考镜反射，两束反射 光最终汇聚并发生干涉。两束相干光间光程差的任何变化会灵敏地导致干涉条纹的移动，而某一束相干光的光程变化是由它所通过的几何路程或介质折射率的变化引起。通过测量干涉条纹的变化，就可以测量出被测表面的相关物理量。

白光干涉仪的主要组成是：光源及科勒照明系统、成像系统、图像采集系统、垂直扫描系统、调整系统、干涉物镜。白光干涉仪可以选用宽光谱白光LED作为光源，成像系统是使用管镜与干涉结构相结合的型式，垂直扫描系统采用压电陶瓷控制器(PZT)实现z轴方向的精密位移与扫描，通过计算机编写软件实现对白光干涉仪的系统控制，最终实现对元件表面形貌的检测。

二、行业产业链

白光干涉仪行业产业链上游主要包括光学元件（如透镜、分光镜、反射镜、物镜等）、光源系统（如白光LED、卤素灯等）、探测器、传感器、精密机械部件（如压电陶瓷驱动器、纳米级伺服系统、导轨等）、电子控制系统（如控制器、软件算法、数据处理模块等）等。产业链中游为白光干涉仪生产制造环节。产业链下游主要应用于半导体、微电子、光学制造、精密机械、生物医学、材料科学等领域。

近年来，中国在半导体制造工艺上不断取得突破，从成熟工艺的优化到先进工艺的逐步攻克，使得芯片生产效率大幅提升。同时，国内企业加大研发投入，积极引进高端人才，攻克了诸多技术难题，为产量的持续攀升奠定了坚实基础。2025年1-8月，中国集成电路产量为3429.1亿块，同比增长20.53%。随着5G通信、人工智能、物联网等新兴技术的快速发展，对集成电路的需求呈爆发式增长。无论是智能手机、智能穿戴设备，还是工业自动化设备、汽车电子等领域，都对集成电路有着海量需求，这促使国内集成电路企业不断扩大产能，以满足市场缺口。白光干涉仪在集成电路制造中主要用于检测硅片表面的平整度、缺陷和微观结构。其高精度的测量能力能够确保芯片制造过程中的每一个环节都达到极高的质量标准。随着中国集成电路产业的快速发展，对白光干涉仪的需求也日益增加。国内白光干涉仪制造商通过技术创新和产品升级，不断提升设备的性能和精度，以满足日益增长的市场需求。

相关报告：智研咨询发布的《中国白光干涉仪行业市场竞争格局及发展趋向研判报告》

三、市场规模

随着国内半导体产业、新能源汽车、航空航天等高精制造领域快速扩张，对亚纳米级表面形貌、薄膜厚度、粗糙度等参数的严苛检测需求激增。白光干涉仪作为关键检测工具，凭借其非接触、高精度、三维成像等特性，市场需求随产业升级持续攀升。2024年，中国白光干涉仪行业市场规模约为51亿元，同比增长13.33%。从技术来看，行业主流设备的分辨率已突破0.1纳米，动态测量范围扩展至200微米，多光谱融合技术使测量效率提升40%。这些技术进步不仅提升了设备的性能，还直接推动了设备单价的下降，使白光干涉仪在市场上的应用更加广泛。随着技术创新的不断推进，新型白光干涉仪产品不断涌现，如多波长干涉仪、非接触式白光干涉仪等。这些新型产品不仅丰富了市场产品线，还满足了不同行业对高精度检测设备的多样化需求。

四、重点企业经营情况

当前中国白光干涉仪行业呈现“国际品牌主导高端、国产厂商加速崛起”的竞争格局。国际巨头如德国Bruker、美国ZYGO凭借成熟技术占据高端市场，产品垂直分辨率达0.1nm，但价格昂贵（800-1500万元/台），主要应用于半导体晶圆检测、光学元件面形评估等高精度场景。国内企业如中图仪器、优可测、新启航通过技术突破与成本优势快速扩张。中图仪器SuperView系列实现300mm大范围扫描与5秒自动化调平，在晶圆检测领域市占率领先；优可测AM8000系列集成AI算法，相位解算精度达0.1nm，适配生物医疗、新能源等细分市场；新启航通过“零部件归零计划”实现27项核心部件100%国产化，设备成本降至300-400万元，较进口产品低60%。

板石智能科技（深圳）有限公司成立于2020年，系国家级专精特新“小巨人”企业，旗下核心品牌优可测聚焦精密测量仪器研发。技术突破方面，2025年优可测取得白光干涉仪三维调节结构专利，通过竖直平面、俯仰及水平面调节组件实现设备垂直度与平行度精准调控。其旗舰产品AM8000系列白光干涉仪垂直分辨率达0.1nm，支持5秒自动调平及300mm大范围扫描，集成“EquiDrive自动调平”与气浮缓冲机构，隔振稳定性提升2.7倍；AM7000系列更实现0.03nm垂直分辨率与0.002nm RMS重复性，搭配纳米压电陶瓷驱动，扫描速度达400μm/s。应用领域覆盖半导体晶圆检测、航空航天、3C电子、新能源及生物医疗，客户包括华为海思、宁德时代、中科院等头部机构，并完成A轮融资以拓展海外布局。

新启航半导体有限公司作为国产3D白光干涉仪领军企业，通过“零部件归零计划”实现27项核心部件100%国产化。技术层面，自主研发非对称共光路干涉系统突破传统专利限制，采用国产高功率LED光源（光谱400-700nm）结合智能滤波技术，在保持0.1nm垂直分辨率的同时将光源成本降至进口1/5；与成都光明合作开发的λ/20精度熔融石英物镜使光学组件成本下降70%。其大视野3D白光干涉仪搭载0.6倍镜头实现15mm单幅视野与0.1nm精度融合，支持8英寸晶圆FULL MAPPING扫描及动态3D轮廓测量，集成多普勒激光测振系统拓展复杂工况应用。

五、行业发展趋势

1、行业技术不断创新，驱动高端化突破

2025年中国白光干涉仪行业已实现0.1纳米级分辨率、200微米动态测量范围的技术突破，多光谱融合技术使测量效率提升40%。企业如优可测通过AM8000系列集成AI算法，实现0.1nm相位解算精度与5秒自动调平功能，适配半导体晶圆全表面三维形貌重构需求；新启航则通过非对称共光路干涉系统突破传统专利限制，采用国产LED光源与λ/20精度熔融石英物镜，将光学组件成本降低70%。行业正朝着智能化、多功能化方向发展，例如集成多普勒激光测振系统实现动态3D轮廓测量，结合AI算法实现智能数据分析和一键式操作，满足航空航天、精密模具等高精度场景需求，推动设备向高端制造核心环节渗透。

2、国产化进程加速，产业链实现自主可控

政策驱动下，行业核心部件国产化率显著提升。中图仪器通过自研XtremeVision Pro软件平台与精密Z向扫描模块，实现300mm大范围扫描与ISO/ASME标准参数评价；优可测联合成都光明开发国产物镜，使光学镜片成本下降70%。新启航通过“零部件归零计划”实现27项核心部件100%国产化，设备成本降至进口产品的50%-60%，全生命周期成本节省显著。国家发改委要求2025年底前精密测量仪器自主化率超70%，推动长三角、珠三角产业集群形成完整供应链，苏州工业园、东莞松山湖等地国产化率已超40%，高精度压电陶瓷、导轨等部件进口依存度从83%逐步降低，支撑“制造强国”战略实施。

3、应用领域扩展，推动跨行业深度融合

白光干涉仪应用场景持续拓展，除了传统的半导体制造、光学检测和精密机械加工等领域，白光干涉仪在生物医学、新能源、航空航天等新兴领域的应用也将逐渐增加。例如，在生物医学领域，白光干涉仪可用于细胞成像和生物组织结构的测量；在新能源领域，可用于光伏电池表面检测和薄膜厚度测量。跨行业融合方面，设备与工业自动化、AI算法结合，实现远程运维、智能诊断等功能，例如内置IoT模块实现故障预警准确率95%。同时，多镜头复合型设备通过模块化设计满足多样化需求，从单镜头基础型到定制化高端型，覆盖科研教育、航空航天等全领域。

以上数据及信息可参考智研咨询（www.chyxx.com）发布的《中国白光干涉仪行业市场竞争格局及发展趋向研判报告》。智研咨询是中国领先产业咨询机构，提供深度产业研究报告、商业计划书、可行性研究报告及定制服务等一站式产业咨询服务。您可以关注【智研咨询】公众号，每天及时掌握更多行业动态。