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刻蚀设备

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2023年中国刻蚀设备行业发展现状:政府推动技术发展,国产刻进口替代空间广阔[图]

随着国内集成电路产业的快速发展,对刻蚀设备的需求将继续增加,预计未来几年中国刻蚀设备市场规模还将继续保持增长态势。具体而言,2022年我国刻蚀设备行业市场规模342.41亿元,其中,介质刻蚀设备173.23亿元;硅刻蚀设备156.03亿元;金属刻蚀设备13.15亿元。

智研观点 2024-02-21

2022年中国刻蚀设备行业全景速览:国产替代前景广阔[图]

刻蚀是用化学、物理、化学物理结合的方法有选择的去除(光刻胶)开口下方的材料。利用光刻胶等材料作为掩蔽层,通过物理、化学方法将下层材料中没有被上层遮蔽层材料遮蔽的地方去掉,从而在下层材料上获得与掩膜板图形对应的图形。分为湿法刻蚀和干法刻蚀两大类,被刻蚀的材料包括硅、介质材料、金属材料、光刻胶等。

智研观点 2022-12-06
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