静电卡盘
143304
30000
1
![研判2026！中国静电卡盘行业进入壁垒、产业链图谱、市场规模、竞争格局及发展趋势分析：国产化替代需求迫切[图]](http://img.chyxx.com/images/2022/0330/d1363a7ee3953fc25ed09e0b79158acce9dc7c22.png?x-oss-process=style/w320)
研判2026！中国静电卡盘行业进入壁垒、产业链图谱、市场规模、竞争格局及发展趋势分析：国产化替代需求迫切[图]
静电卡盘（ElectrostaticChuck,ESC）是半导体设备的核心零部件，其核心功能是利用静电吸附原理，在刻蚀、薄膜沉积等工艺中固定晶圆，是半导体设备对晶圆的精密承载体与温控核心。
智研观点
2026-08-21
![2023年中国晶圆的静电卡盘行业全景速览：海外厂商垄断局面将被打破，行业将迎来大规模发展契机[图]](http://img.chyxx.com/images/2022/0330/6b296592ed87ae76d174b4fbc262ff18a3c189b8.png?x-oss-process=style/w320)
2023年中国晶圆的静电卡盘行业全景速览：海外厂商垄断局面将被打破，行业将迎来大规模发展契机[图]
从行业供需方面来看，虽然近年来我国晶圆的静电卡盘产量有所增长，但仍难以满足国内大量的需求市场，因此，长期以来我国晶圆的静电卡盘处于供不应求的状态。具体来看，2022年我国晶圆的静电卡盘产量为77台，同比增长83.3%；需求量为464台，同比增长14%。
智研观点
2023-11-03
![2020年中国晶圆的静电卡盘产业趋于进一步集中[图]](http://img.chyxx.com/2021/01/20210125131302.png?x-oss-process=style/w320)
2020年中国晶圆的静电卡盘产业趋于进一步集中[图]
下游集成电路产业的蓬勃发展及巨大的需求配合积极的国家产业政策与活跃的社会资本，正在全方位、多角度地推动ESC行业进步，为我国ESC厂商创造了机遇。行业需求不断增加，市场规模不断扩大，据统计2014年我国晶圆的静电卡盘市场规模为1197万元，2019年我国晶圆的静电卡盘市场规模增长至5349万元。
智研观点
2021-01-25
没有更多了
