薄膜沉积装置

2025年中国薄膜沉积装置‌行业产业链图谱、发展现状、重点企业及未来发展趋势研判：先进制程与国产化双引擎加速，新兴应用拓宽成长空间[图]

薄膜沉积装置是一种工业设备，其核心功能是通过物理或化学方法在基底材料（如硅片、玻璃、金属等）表面逐层沉积特定材料，形成具有光学、电学、磁学或机械性能的薄膜涂层。这些薄膜可改变基底材料的表面特性，广泛应用于半导体、光伏、显示面板、新能源、生物医疗等领域，是微纳制造和精密加工的关键技术之一。