半导体设备零部件

2025年中国半导体设备零部件行业发展历程、市场政策、产业链图谱、市场规模、竞争格局及发展趋势分析：市场格局较为分散[图]

半导体设备零部件是构成半导体制造设备的基础单元，是设备实现晶圆加工、检测等核心功能的关键组成部分，直接影响设备的精度、稳定性和使用寿命。