MEMS传感器

2022年中国MEMS传感器行业产业链情况分析：行业规模持续扩张[图]

一般来讲，大部分MEMS压力传感器的敏感元件是硅膜片，按照不同的敏感机理，MEMS压力传感器可以分为电容式压力传感器、压阻式压力传感器以及谐振式压力传感器。目前汽车上的压力传感器有很多：歧管压力测量，用来控制空燃比，控制废弃循环等;大气压测量，用来修正空燃比;气缸内气测量，用来控制爆震;燃油喷射压力测量;充气压力测量，