随着我国在微电子行业上的进步,对经济发展起到了很大的推动作用,并且逐渐成为支柱性的产业之一。为满足微电子技术发展的需要,对与之配套的高纯电子级过氧化氢的要求也越来越高。
生产高纯电子级过氧化氢的纯化方法主要有以下几种:精馏、吸附、离子交换、萃取、结晶、膜分离及以上单元操作的多元集成。以吸附法为例:吸附法在不发生相变的情况下,无需外界推动力,通过固体吸附剂的吸附能力除去过氧化氢水溶液溶质中的杂质。因而其设备及工艺简单、生产条件温和、操作便利,广泛应用到生产高纯电子级过氧化氢工艺中。
国内高纯电子级过氧化氢生产规模大多数还处于试验和小规模生产阶段,高品质的产品少,因此开发产品品质好、工艺安全性高、易于大规模生产的纯化工艺显得尤为重要。此外,主要的生产厂家基本集中在东部沿海较发达的地区,而西部地区则较为稀少,这也成为制约我国高纯电子级过氧化氢行业发展的重要一点。
2017年我国高纯电子级过氧化氢生产企业数量达到了数十家,大多数企业产能较低,企业主要有杭州精欣化工有限公司、上海哈勃化学技术有限公司、苏瑞电子材料有限公司、广东中成化工股份有限公司、江阴市江化微电子材料科技有限公司等,从2017年全国高纯电子级过氧化氢主要企业分布可以明显看到以华东地区为主。
高纯电子级过氧化氢企业区域分布
序号 | 企业名称 | 区域 |
1 | 杭州精欣化工有限公司 | 浙江 |
2 | 上海哈勃化学技术有限公司 | 上海 |
3 | 苏瑞电子材料有限公司 | 江苏 |
4 | 广东中成化工股份有限公司 | 广东 |
5 | 江阴江化微电子材料股份有限公司 | 江苏 |
资料来源:公开资料整理
2017年中国高纯电子级过氧化氢产能达到了5.6万吨,全国前五名高纯电子级过氧化氢生产企业产能占据了46.43%的份额。
2017年全国高纯电子级或氧化氢产能格局

资料来源:智研咨询整理
高纯电子级过氧化氢是微电子行业中一种十分重要的高纯试剂,主要用作半导体硅晶片清洗剂,蚀刻剂和光刻胶去除剂,还可用于高级绝缘层制取,电镀液无机杂质去除,电子行业中铜、铜合金和镓、锗的处理,以及太阳能硅晶片的蚀刻和清洗。在处理过程中,试剂中的杂质会对元器件性能产生致命影响,因此,高纯过氧化氢对纯度的要求非常苛刻。
随着我国集成电路和微电子产业的快速发展,高纯电子级过氧化氢需求量逐渐扩大,应用范围不断增加,高纯电子级过氧化氢存在巨大的潜在市场。
2017年我国高纯电子级过氧化氢行业需求量7.15万吨,同比2016年的6.17万吨增长了15.88%。
2011-2017年中国高纯电子级过氧化氢行业需求量

资料来源:智研咨询整理
随着我国高纯电子级过氧化氢需求规模的快速提升,2017年我国高纯电子级过氧化氢行业产能约5.6万吨,产量增长至4.35万吨,同比2016年的3.98万吨增长了9.3%,近几年我国高纯电子级过氧化氢行业产量情况如下图所示:
2011-2017年中国高纯电子级过氧化氢行业产量

资料来源:智研咨询整理
智研咨询发布的《2019-2025年中国高纯电子级过氧化氢行业市场运营态势及发展前景预测报告》数据显示:2017年我国半导体领域高纯电子级过氧化氢需求量为4.74万吨,占行业需求总量的66.29%;晶硅太阳能电池领域需求量为0.79万吨,需求占比为11.05%;液晶面板等其他领域需求总量为1.62万吨,需求占比为22.66%。
2017年我国高纯电子级过氧化氢需求领域分布格局

资料来源:智研咨询整理
2011-2017年我国不同应用领域高纯电子级过氧化氢需求统计图

资料来源:智研咨询整
近几年全球半导体市场竞争激烈,我国半导体行业研发投入开始出现强劲增长,一定程度上带动了我国高纯电子级过氧化氢的市场规模,2017年我国高纯电子级过氧化氢行业市场规模达到了5.07亿元,同比2016年的4亿元增长了26.75%,近几年我国高纯电子级过氧化氢规模情况如下图所示:
2011-2017年中国高纯电子级过氧化氢市场规模

资料来源:智研咨询整理
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