2026年中国四氟化碳行业理化性质、市场规模、重点企业及发展趋势分析：高纯替代与新兴领域需求双轮驱动，行业进入国产替代关键窗口期[图]

内容概况：中国四氟化碳行业现处于技术升级与市场扩张并行阶段。2024年，中国四氟化碳行业市场规模约为20.79亿元，同比增长7.44%。一方面，国产低温精馏-吸附耦合工艺不断成熟，6N级产品一次合格率不断提升，与国际巨头的技术差距缩小至一个纯度数量级，为国产替代奠定坚实基础；另一方面，下游半导体、光伏、面板等新兴产业持续扩产，直接拉动高纯CF₄需求快速放量。

相关上市企业：华特气体（688268）、雅克科技（002409）、昊华科技（600378）

相关企业：浙江巨化股份有限公司、内蒙古君正能源化工集团股份有限公司、东华工程科技股份有限公司、吉林电力股份有限公司、上海电气集团股份有限公司、中国石油化工股份有限公司、中国海洋石油集团有限公司、宝丰能源集团股份有限公司、华电科工股份有限公司、吉林电力股份有限公司、中芯国际集成电路制造有限公司、京东方科技集团股份有限公司、隆基绿能科技股份有限公司、长飞光纤光缆股份有限公司

关键词：四氟化碳、四氟化碳市场规模、四氟化碳行业现状、四氟化碳发展趋势

一、行业概述

四氟化碳，化学式为CF₄，又称四氟甲烷，是一种在常温常压下为无色、无臭、不可燃的气体。它是最简单的全氟碳化合物（PFC），具有极高的化学稳定性和热稳定性。其分子结构对称，键能强，因此极其惰性，在常温下不与强酸、强碱甚至大多数强氧化剂反应。这些特性使其成为理想的惰性保护气体和等离子体工艺气体，广泛应用于微电子工业，同时也是一种长期存在的温室气体。

二、行业产业链

四氟化碳行业产业链上游主要包括氢氟酸、甲醇、氟气、碳源、电等原材料，以及氟碳反应器、电解槽、热解塔、精馏塔、吸附塔、淋洗系统等生产设备。产业链中游为四氟化碳生产制造环节。产业链下游主要应用于半导体、平板显示、光伏、光纤等制造工艺中，也用作激光气体、低温制冷剂、溶剂、润滑剂、绝缘材料、红外检波管的冷却剂。

截至2025年年底，中国氢氟酸价格为11873元/吨，同比增长8.87%。氢氟酸价格坚挺，源于其源头萤石资源的供应趋紧与开采政策的收紧。作为生产四氟化碳及其他含氟电子特气的核心原材料，氢氟酸价格攀升直接加大了中游特气生产企业的成本压力。

随着中芯国际、上海华力等晶圆产能结构性释放，2025年，中国集成电路产量约为4843亿块，同比增长7.28%。作为半导体制造核心耗材，四氟化碳在干法刻蚀、晶圆清洗等环节不可或缺，集成电路产量增长将同步推高电子级四氟化碳需求量。

相关报告：智研咨询发布的《中国四氟化碳行业市场全景分析及未来前景研判报告》

三、市场规模

中国四氟化碳行业现处于技术升级与市场扩张并行阶段。2024年，中国四氟化碳行业市场规模约为20.79亿元，同比增长7.44%。一方面，国产低温精馏-吸附耦合工艺不断成熟，6N级产品一次合格率不断提升，与国际巨头的技术差距缩小至一个纯度数量级，为国产替代奠定坚实基础；另一方面，下游半导体、光伏、面板等新兴产业持续扩产，直接拉动高纯CF₄需求快速放量。

四、重点企业经营情况

中国四氟化碳行业呈现“头部集中、技术驱动”的竞争格局，以科美特、福建德尔科技、昊华科技、华特气体和金宏气体等为代表的国内厂商正加速崛起。科美特现有产能2000吨/年，产品纯度达6N级，深度绑定台积电、中芯国际等全球顶尖半导体供应链。华特气体四氟化碳产品通过中芯国际、长江存储认证，在半导体刻蚀气领域占据重要市场份额。

广东华特气体股份有限公司成立于1999年，是国内特种气体国产化领军企业，2005年转向特种气体研发，2011年实现高纯四氟化碳量产，2013年通过集成电路终端客户认证，正式进入国内半导体产业链。其四氟化碳产品纯度达6N级，采用低温精馏、膜分离等先进纯化技术，广泛应用于半导体刻蚀、晶圆清洗等环节，已实现进口替代，客户覆盖中芯国际、长江存储、台积电、SK海力士等全球顶尖半导体企业。2025年前三季度，华特气体营业收入为10.44亿元，同比下降1.36%；归母净利润为1.19亿元，同比下降10.32%。

福建永晶科技股份有限公司成立于2007年，是国家级高新技术企业，以氟化工为核心，四氟化碳产能600吨/年，采用碳型材料直接氟化工艺和低温精馏分离技术，产品纯度达5N级，广泛应用于半导体、光伏等领域。2021年过程安全实验室通过国家CNAS认证，2024年与嘉庚创新实验室合作成立永庚科技，布局半导体材料国产化。其氟化工生产线导入DCS自动化系统，实现智能化生产，获“国家专精特新小巨人”“福建省制造业单项冠军”等荣誉，推动氟化工产业链绿色转型与高端化升级。

五、行业发展趋势

1、高端化驱动，下游半导体与光伏产业的升级构成核心增长极

未来，电子级高纯四氟化碳将成为行业发展的绝对主线。增长的核心驱动力明确指向半导体与光伏这两大下游产业。在半导体领域，随着工艺节点向3nm、2nm及以下迈进，对蚀刻和清洗气体纯度的要求已逼近物理极限，推动四氟化碳产品从主流的5N（99.999%）向6N、甚至更高纯度演进。同时，集成电路产量的稳步增长保证了需求的刚性。在光伏领域，N型电池的大规模量产和新型薄膜电池技术的发展，对用于设备腔体清洗的高纯四氟化碳需求也快速增长。因此，行业的增长质量将愈发取决于能否满足这些高端制造领域对超高纯度、超低杂质和供应稳定性的极致要求。

2、国产化与头部化加速，市场竞争格局向技术与资本双重密集转变

未来行业的竞争将告别分散与同质化，快速向头部企业集中，呈现“强者恒强”的局面。一方面，在供应链安全与国产替代战略驱动下，以科美特、昊华科技、华特气体等为代表的头部本土企业，凭借持续的技术突破和产能扩张，将不断侵蚀由国际巨头长期主导的高端市场份额，国产化率将持续提升。另一方面，竞争将愈发成为技术与资本的双重较量。规模化生产以降低成本的“制造优势”（如头部企业在内蒙古等能源基地的产能布局），与突破超高纯技术、通过顶尖客户认证的“技术优势”同样重要。缺乏核心技术和规模效应的中小企业生存空间将被大幅挤压，行业集中度将显著提高。

3、绿色化与可持续化，环保法规倒逼产业技术路线革新

四氟化碳作为一种强效温室气体（其全球变暖潜能值是二氧化碳的7390倍），未来将面临全球范围内日益严苛的环保法规约束（如欧盟的F-gas法规）。这一压力将从根本上倒逼产业进行技术路线革新。首先，生产过程的绿色化将成为硬性要求，例如头部企业开始利用内蒙古的绿电进行生产，以降低碳足迹。其次，开发和应用高效的“末端处理与回收技术”将变得至关重要，未来晶圆厂或特气公司配套建设尾气回收净化装置将成为标配。长远来看，行业必将积极寻求和验证温室效应更低的环保替代气体。因此，未来的领先企业不仅要是技术和市场的领导者，也必须是绿色、低碳发展模式的践行者。

以上数据及信息可参考智研咨询（www.chyxx.com）发布的《中国四氟化碳行业市场全景分析及未来前景研判报告》。智研咨询是中国领先产业咨询机构，提供深度产业研究报告、商业计划书、可行性研究报告及定制服务等一站式产业咨询服务。您可以关注【智研咨询】公众号，每天及时掌握更多行业动态。