趋势研判！2025年中国半导体射频电源行业发展背景、产业链、市场规模、竞争格局及发展趋势分析：半导体射频电源规模持续增长，国产化进程亟待加速[图]

内容概况：射频电源作为半导体设备的核心零部件之一，其发展与半导体市场的整体扩张紧密相连。近年来，受益于国内半导体产业的迅速崛起以及市场对高端射频电源需求的持续提升，中国半导体射频电源行业展现出强劲的增长势头，已成为全球半导体射频电源的主要市场之一。然而，目前全球半导体射频电源供应仍高度集中于美国、日本等发达地区，国内市场也长期被国外企业主导，国产化率处于较低水平。在半导体设备国产化战略的推动下，北方华创、英杰电气、恒运昌等国内企业逐渐崭露头角，凭借下游设备厂商的支持，陆续实现了批量订单的突破，推动国产替代进程不断加速。在此背景下，中国半导体射频电源行业市场规模呈现出稳步增长的态势。据统计，中国半导体射频电源行业市场规模从2022年的6.52亿元增长至2024年的8.55亿元，年复合增长率为14.48%。未来，随着5G、物联网、自动驾驶等技术的快速发展，半导体射频电源行业将迎来更加广阔的发展前景，预计2026年中国半导体射频电源行业市场规模将增长至10.98亿元。

相关上市企业：北方华创（002371）、英杰电气（300820）、达利凯普（301566）、豪威集团（603501）、兆易创新（603986）、纳芯微（688052）、紫光股份（000938）、天岳先进（688234）、江波龙（301308）、杰华特（688141）等。

相关企业：上海励兆科技有限公司、深圳市恒运昌真空技术股份有限公司等。

关键词：半导体行业市场规模、半导体射频电源行业产业链、全球射频功率放大器市场规模、全球半导体射频电源行业市场规模、中国半导体射频电源行业市场规模、半导体射频电源行业发展趋势

一、半导体射频电源行业概述

射频电源（RF电源）是一种利用射频电流（RF）的高频电磁波（频率范围300KHz-30GHz）实现能量传输的装置，主要应用于半导体制造、平板显示器生产及薄膜太阳能电池加工领域。半导体射频电源的工作频率一般处在2MHz到60MHz之间。根据采用的功率放大器类型不同，射频电源可分为电子管射频电源和晶体管射频电源（又称为全固态射频电源）。

半导体射频电源是为半导体制造设备提供特定频率和功率的电源装置，其性能直接影响到芯片制造的质量与效率。射频电源能够产生高频交变电磁场，在薄膜沉积、刻蚀、离子注入、干法清洗等工艺中发挥着不可或缺的作用。

二、半导体射频电源行业发展背景

半导体作为现代科技产业的核心，是推动经济发展与科技创新的关键力量。近年来，半导体行业国产自主化进程备受关注，其不仅关乎产业安全，更对国家综合竞争力有着深远影响。在全球半导体市场中，中国已经连续多年占据近三分之一份额。但长期以来，我国半导体产业严重依赖进口，核心技术受制于人，面临“卡脖子”困境。特别是2022年以来，美国多次出台出口管制措施，限制先进制程芯片与半导体制造设备出口，给我国半导体产业带来冲击与挑战，也使得国产自主化的紧迫性大幅提升。在此背景下，我国相继出台《制造业可靠性提升实施意见》《关于推动未来产业创新发展的实施意见》《深圳市关于促进半导体与集成电路产业高质量发展的若干措施》等多项政策支持半导体行业发展，同时在市场需求与企业努力等多因素推动下，国产自主化进程取得显著进展，为半导体射频电源行业发展提供良好的发展环境。据统计，中国半导体行业市场规模从2015年的26385.73亿元增长至2024年的47344.73亿元，年复合增长率为6.71%。

三、半导体射频电源行业产业链

半导体射频电源行业产业链主要包括原材料及零部件、生产制造和应用等环节。半导体射频电源产业链上游包括电感、电阻、电容、二极管、三极管、变压器、模拟IC、数字IC、面板、散热器、射频信号源、射频功率放大器、阻抗匹配器等。产业链中游为半导体射频电源的生产制造环节。产业链下游为半导体领域，包括等离子刻蚀设备、薄膜沉积、等离子掺杂设备、等离子清洗/去胶设备等。

射频功率放大器是半导体射频电源的核心部件，主要将普通电源输出的低电压信号放大至高频、高电压的信号。在无线通信技术迅猛发展的当下，射频功率放大器作为信号放大的关键环节，正以前所未有的速度驱动着市场扩张。从智能手机到通信基站，从物联网设备到卫星通信，射频功率放大器应用广泛，为高速、可靠地信息传输提供了坚实基础。随着5G、物联网和自动驾驶等前沿技术的快速普及，射频功率放大器市场迎来重大发展机遇，展现出强劲的增长潜力。据统计，2024年全球射频功率放大器市场规模已达62.54亿美元，预计到2031年将增长至99.76亿美元，年复合增长率达6.9%。未来，随着射频功率放大器行业的持续发展，将同步带动半导体射频电源行业迈向新的增长阶段。

相关报告：智研咨询发布的《中国半导体射频电源行业市场全景评估及发展趋向研判报告》

四、半导体射频电源行业发展现状

作为等离子体工艺的配套电源，射频电源广泛应用于半导体制造中的刻蚀、化学气相沉积（CVD）和物理气相沉积（PVD）等核心环节，其重要性日益凸显。近年来，伴随半导体行业的持续扩张，全球半导体射频电源市场规模保持稳定增长。数据显示，全球半导体射频电源行业市场规模从2018年的4.84亿美元增长至2024年的8.03亿美元，年复合增长率为8.8%。从生产区域来看，全球半导体射频电源最重要的生产区域是北美和日本，合计占全球近60%的市场份额。未来，随着科技的不断进步和半导体产业的持续发展，半导体射频电源作为关键组件，其市场需求有望进一步增长，预计2026年全球半导体射频电源行业市场规模将增长至10.38亿美元。

射频电源作为半导体设备的核心零部件之一，其发展与半导体市场的整体扩张紧密相连。近年来，受益于国内半导体产业的迅速崛起以及市场对高端射频电源需求的持续提升，中国半导体射频电源行业展现出强劲的增长势头，已成为全球半导体射频电源的主要市场之一。然而，目前全球半导体射频电源供应仍高度集中于美国、日本等发达地区，国内市场也长期被国外企业主导，国产化率处于较低水平。在半导体设备国产化战略的推动下，北方华创、英杰电气、恒运昌等国内企业逐渐崭露头角，凭借下游设备厂商的支持，陆续实现了批量订单的突破，推动国产替代进程不断加速。在此背景下，中国半导体射频电源行业市场规模呈现出稳步增长的态势。据统计，中国半导体射频电源行业市场规模从2022年的6.52亿元增长至2024年的8.55亿元，年复合增长率为14.48%。未来，随着5G、物联网、自动驾驶等技术的快速发展，半导体射频电源行业将迎来更加广阔的发展前景，预计2026年中国半导体射频电源行业市场规模将增长至10.98亿元。

五、半导体射频电源行业企业格局和重点企业分析

与欧美等发达国家相比，我国半导体射频电源市场起步较晚，目前行业在产品种类、技术水平、研发投入、产品质量等方面仍存在一定差距，半导体射频电源行业发展任重而道远。当前，全球半导体射频电源主要分为三大梯队，第一梯队包括万机仪器、美国Advanced Energy（优仪）、日本大阪变压器株式会社等；第二梯队包括通快、康姆艾德、京三制作所、爱发科、日本电子株式会社、Adtec Plasma Technology、New Power Plasma等；第三梯队包括北方华创、英杰电气、恒运昌、达利凯普、励兆科技等国内企业。整体来看，我国半导体射频电源国产化程度仍较低，未来随着半导体设备国产化的不断推进，半导体射频电源发展空间广阔。

1、四川英杰电气股份有限公司

四川英杰电气股份有限公司作为国内综合性工业电源研发与制造领域具备较强技术实力及市场竞争力的企业，始终专注于电力电子技术在工业各领域的深度应用，主要从事以功率控制电源、特种电源为核心的工业电源设备的研发、生产及销售业务，同时涵盖新能源汽车充电桩/站、储能产品的研发、生产与销售业务。其中，公司研发生产的特种电源系列产品主要涵盖：直流编程电源、加速器专用电源、中高频感应电源、高压电源、微波 电源、射频电源及固态调制器系统等。该类产品的应用领域广泛，具体包括：半导体制造、激光技术、医疗设备、环保工程等行业；电子枪驱动、微波加热、等离子杀菌、等离子喷涂、真空熔炼等特种工业场景；航空航天、前沿材料等科研领域。数据显示，2025年上半年，英杰电气电源模块及系统营业收入为2.05亿元，同比下降5.53%。

2、北方华创科技集团股份有限公司

北方华创科技集团股份有限公司专注于半导体基础产品的研发、生产、销售和技术服务，主要产品为电子工艺装备和电子元器件，电子工艺装备包括半导体装备、真空及新能源装备。电子元器件包括电阻、电容、晶体器件、模块电源、微波组件等。北方华创始终坚持科技创新，不断推动产品迭代升级，积极拓展产品应用领域，以满足快速发展的市场需求。在半导体装备业务板块，北方华创的主要产品包括刻蚀、薄膜沉积、热处理、湿法、离子注入、涂胶显影、键合等核心工艺装备，广泛应用于集成电路、功率半导体、三维集成和先进封装、化合物半导体、新型显示等制造领域。北方华创借助产品技术领先、种类多样、工艺覆盖广泛等优势，以产品迭代升级和成套解决方案为客户创造更大价值。2020年，公司全资子公司北京北方华创微电子装备有限公司以现金方式收购关联方北京北广科技股份有限公司持有的射频应用技术相关资产，提升在射频电源细分领域的核心竞争力。从经营情况来看，2025年上半年，北方华创营业收入为161.42亿元，同比增长29.51%。

六、半导体射频电源行业发展趋势

1、高性能

中国半导体射频电源行业在高性能方向的发展正不断深入。随着半导体制造工艺向更精细节点迈进，对射频电源的输出精度、频率稳定性及功率控制能力提出了更高要求。半导体射频电源行业正在推进高频、高功率、多通道集成等技术的研发，以满足刻蚀、沉积等关键工艺对电源性能的严苛需求。国产企业通过提升核心元器件性能、优化拓扑结构和引入数字化控制技术，逐步缩小与国际领先产品的差距。未来，高性能射频电源将更注重与工艺设备的协同优化，助力半导体制造实现更高的效率与良率。

2、低功耗

低功耗已成为中国半导体射频电源技术发展的重要方向。在“双碳”目标背景下，半导体产业对节能降耗的需求日益迫切，推动射频电源向更高能效转型。半导体射频电源企业通过采用新型宽禁带半导体材料如氮化镓（GaN）和碳化硅（SiC），提升开关频率与转换效率，显著降低电源自身能耗。同时，智能功率调制技术和动态能量管理系统的应用，可根据工艺负载实时优化功率输出，避免能源浪费。低功耗设计不仅降低了设备运行成本，也有助于提升半导体产线的绿色可持续发展水平。

3、可靠性

可靠性是中国半导体射频电源行业提升竞争力的核心要素。射频电源需在高温、高负载及连续运行的工业环境下保持稳定，其可靠性直接关系到半导体设备整体性能及产线利用率。国内企业正从材料、设计与工艺等多方面入手，增强产品的环境适应性与长期耐用性，如优化散热结构、强化电路抗干扰能力、推行高标准制造与测试流程。此外，通过引入故障预测与健康管理（PHM）技术，实现状态监测与智能运维，进一步提升电源在实际应用中的可靠性和使用寿命。

以上数据及信息可参考智研咨询（www.chyxx.com）发布的《中国半导体射频电源行业市场全景评估及发展趋向研判报告》。智研咨询是中国领先产业咨询机构，提供深度产业研究报告、商业计划书、可行性研究报告及定制服务等一站式产业咨询服务。您可以关注【智研咨询】公众号，每天及时掌握更多行业动态。