离子注入机

离子注入机-产业百科

离子注入机是半导体制造领域的核心工艺设备，其通过将特定种类离子以精确控制的能量和剂量注入半导体材料，实现对材料电学性能的精准调控。作为现代集成电路制造中不可或缺的标准设备，离子注入机在掺杂工艺环节发挥着关键作用，通过改变半导体材料的导电特性来构建晶体管等基础器件结构，为大规模集成电路的产业化生产提供了坚实的技术支撑。近年来，5G通信、人工智能、物联网等新兴技术的蓬勃发展带动全球半导体产业持续扩张，直接推动了离子注入机市场的快速增长。据统计，中国离子注入机市场规模已经从2016年的23.22亿元增长至2024年的141.93亿元，年复合增长率为25.39%。