我公司拥有所有研究报告产品的唯一著作权，当您购买报告或咨询业务时，请认准“智研钧略”商标，及唯一官方网站智研咨询网（www.chyxx.com）。若要进行引用、刊发，需要获得智研咨询的正式授权。
- 报告目录
- 研究方法
报告导读：
半导体设备零部件是构成半导体制造设备的基础单元，是设备实现晶圆加工、检测等核心功能的关键组成部分，直接影响设备的精度、稳定性和使用寿命。半导体设备零部件位于半导体产业链上游，为半导体行业发展提供重要支撑，半导体行业遵循“一代技术、一代工艺、一代设备”的产业规律，半导体设备是延续行业“摩尔定律”的瓶颈和关键，其中，半导体设备零部件作为半导体设备的关键构成，是决定半导体设备产业发展水平的关键因素，半导体设备零部件不仅是半导体设备制造环节中难度较大、技术含量较高的环节之一，也是国内半导体设备企业“卡脖子”的环节之一，因此，我国高度重视半导体设备零部件产业发展，近年来，我国相继出台众多产业政策支持和鼓励行业发展，在市场政策加持下，我国半导体设备零部件市场迅速崛起，据统计，2024年我国半导体设备零部件行业市场规模达1887.9亿元，同比增长34.9%，其中，配套（含进口装备）市场占92.5%，更新维护市场占7.5%。在配套市场中，机械类占比最大，高达36.5%，其次为系统输送系统和电器类，分别占16.1%和14.3%。
作为深耕中国半导体设备零部件领域十余年的专业机构，智研咨询致力于携手行业企业，提供精准信息、专业咨询与定制化解决方案，持续赋能半导体设备零部件产业发展。
观点抢先知：
行业发展阶段：目前，我国半导体设备零部件行业已进入追求高质量和系统性突破的新阶段，不再满足于个别品类的替代，而是朝着全产业链协同、高端领域全面渗透的方向推进，上游材料企业、中游零部件厂商与下游设备厂、晶圆厂的联动愈发紧密，通过共建联合实验室、共享测试平台等方式，同步推进材料研发、零部件试制和工艺验证，大幅缩短了技术迭代周期，同时，本土企业的竞争焦点也从单纯的产品量产，转向了原创技术研发和模块化解决方案供应。
行业发展有利因素：我国将半导体产业自主可控列为战略目标，近年来，相继发布《关于促进非银行金融机构支持大规模设备更新和消费品以旧换新行动的通知》《支持苏州工业园区深化开放创新综合试验的若干措施》《关于推动技能强企工作的指导意见》《关于促进集成电路产业高质量发展的若干政策》等一系列政策支持、鼓励和规范半导体产业发展，作为半导体产业重要配套之一的半导体设备零部件也受到众多产业政策的支持。
产业链核心节点：我国半导体设备零部件行业上游主要包括铝合金、不锈钢、钛合金、超高纯钨、铜等金属材料供应商以及高纯石英砂、陶瓷、石墨等非金属材料供应商，上游原材料的纯度、性能直接决定下游零部件的质量；行业中游为半导体设备零部件研发、设计、生产等环节；行业下游为应用与终端环节，中游零部件先供给半导体设备厂商，用于组装光刻、刻蚀、薄膜沉积等各类制造及封测设备，随后这些设备交付给晶圆厂和芯片封测企业，用于晶圆加工与芯片封装测试，最终芯片产品流入消费电子、汽车电子、AI、医疗电子等终端领域。
市场规模：据统计，2024年我国半导体设备零部件行业市场规模达1887.9亿元，同比增长34.9%，其中，配套（含进口装备）市场占92.5%，更新维护市场占7.5%。在配套市场中，机械类占比最大，高达36.5%，其次为系统输送系统和电器类，分别占16.1%和14.3%。
市场竞争格局：虽然我国半导体设备零部件市场“蛋糕”很大，但国产厂商分到的却不多，曾经，国内很多设备厂商及晶圆制造厂商几乎都以进口零部件为主，但近年来，国产厂商加快布局零部件产品，部分头部企业不断在细分领域掌握自主知识产权，国产零部件厂商才逐步进入国内设备/晶圆制造企业的供应链体系。但总体来看，由于半导体设备零部件种类繁多，加之半导体设备本身结构复杂，对加工精度、一致性、稳定性要求较高，导致精密零部件制造工序繁琐，技术难度大，行业内多数企业只专注于个别生产工艺，或专注于特定零部件产品，整体市场格局较为分散。
相关上市企业：沈阳富创精密设备股份有限公司是半导体零部件领域的领军企业，产品主要为半导体设备、泛半导体设备及其他领域的精密零部件，主要包括：机械及机电零组件（腔体、内衬、匀气盘等工艺零部件及腔体模组、阀体模组等模组产品）、气体传输系统（气柜、气体管路等产品），相关产品成功通过国内外龙头客户验证并实现量产。2025年上半年富创精密营业总收入已完成17.24亿元，其中，机械及机电零组件占68.56%，气体传输系统占28.92%。
市场趋势：此前国产零部件多在机械类等单一品类实现“点状突破”，未来将进入全品类协同替代的新阶段，一方面，头部晶圆厂和设备厂商会持续推行“国产优先”采购策略，还会联合零部件企业搭建本地化测试线，大幅缩短国产零部件的验证周期，为其进入供应链打开通道；另一方面，本土企业会针对射频电源、静电吸盘等此前依赖进口的高端品类集中攻关，同时在机械类零件已实现较高自给率的基础上，进一步提升产品稳定性，推动国产替代从成熟制程向先进制程延伸，逐步改变高端领域被海外寡头垄断的格局。
报告相关内容节选：
【特别说明】
1）内容概况部分为我司关于该研究报告核心要素的提炼与展现，内容概况中存在数据更新不及时情况，最终出具的报告数据以年度为单位监测更新。
2）报告最终交付版本与内容概况在展示形式上存在一定差异，但最终交付版完整、全面的涵盖了内容概况的相关要素。报告将以PDF格式提供。
第一章半导体设备零部件行业发展概述
第一节 半导体设备零部件的概念
一、定义
二、特点
第二节 半导体设备零部件行业发展成熟度
一、行业生命周期分析
二、行业中外市场成熟度对比
第三节 半导体设备零部件行业价值链分析
第四节 半导体设备零部件市场发展历程分析
第五节 半导体设备零部件行业特征分析
一、半导体设备零部件季节性消费特征分析
二、半导体设备零部件政策准入机制分析
三、半导体设备零部件经营模式分析
四、半导体设备零部件技术门槛分析
第二章2021-2025年中国半导体设备零部件行业运行环境分析
第一节 2021-2025年中国宏观经济环境分析
第二节 2021-2025年中国半导体设备零部件行业发展政策环境分析
一、国内宏观政策发展建议
二、半导体设备零部件行业政策分析
三、相关行业政策影响分析
第三节 半导体设备零部件税收及进出口关税
第四节 社会环境
第五节 半导体设备零部件技术环境
一、技术专利现状分析
二、半导体设备零部件行业技术现状及趋势
第三章半导体设备零部件行业国内外发展概述
第一节 全球半导体设备零部件行业发展现状
一、2021-2025年全球半导体设备零部件行业发展概况
二、主要国家和地区发展概况
1、北美
2、欧洲
三、全球半导体设备零部件行业发展趋势
第二节 中国半导体设备零部件行业发展概况
一、2021-2025年中国半导体设备零部件行业发展概况
二、中国半导体设备零部件行业发展中存在的问题
第四章半导体设备零部件行业市场分析
第一节 国内半导体设备零部件行业市场规模发展现状
一、市场规模分析
1、2021-2025年半导体设备零部件行业市场规模及增速
2、半导体设备零部件行业市场饱和度
3、国内外经济形势对半导体设备零部件行业发展的影响
4、2026-2032年半导体设备零部件行业市场规模及增速预测
二、市场结构分析
三、市场特点分析
1、技术变革与行业革新对半导体设备零部件行业的影响
2、差异化分析
第二节 2021-2025年中国半导体设备零部件行业产量分析
第三节 2021-2025年半导体设备零部件行业需求分析
一、2021-2025年中国半导体设备零部件行业需求分析
二、2021-2025年中国半导体设备零部件市场价格走势分析
第五章半导体设备零部件行业竞争态势分析
第一节 半导体设备零部件行业集中度分析
一、半导体设备零部件市场集中度分析
二、半导体设备零部件企业分布区域集中度分析
三、半导体设备零部件区域消费集中度分析
第二节 半导体设备零部件行业主要企业竞争力分析
第三节 半导体设备零部件行业竞争格局分析
一、2021-2025年半导体设备零部件行业竞争分析
二、2021-2025年中外半导体设备零部件产品竞争分析
三、2021-2025年中国半导体设备零部件市场竞争分析
四、国内半导体设备零部件行业重点企业发展动向
第六章2021-2025年中国半导体设备零部件所属行业区域竞争全景分析
第一节 半导体设备零部件行业相关行业或替代品行业发展分析
第二节 半导体设备零部件行业细分产品分析
第三节 半导体设备零部件行业区域发展分析
一、华东地区分析
1、市场发展经济环境分析
2、市场规模分析
3、发展趋势分析
二、华南地区现状分析
1、市场发展经济环境分析
2、市场规模分析
3、发展趋势分析
三、华中地区现状分析
1、市场发展经济环境分析
2、市场规模分析
3、发展趋势分析
四、华北地区现状分析
1、市场发展经济环境分析
2、市场规模分析
3、发展趋势分析
五、西部地区现状分析
1、市场发展经济环境分析
2、市场规模分析
3、发展趋势分析
六、东北地区现状分析
1、市场发展经济环境分析
2、市场规模分析
3、发展趋势分析
第七章中国半导体设备零部件行业产业链分析
第一节 半导体设备零部件行业产业链概述
第二节 半导体设备零部件上游产业发展状况分析
一、上游原料市场发展现状
二、上游原料生产情况分析
三、上游原料价格走势分析
第三节 半导体设备零部件下游应用需求市场分析
一、行业发展现状分析
二、行业发展前景预测
第八章国内半导体设备零部件生产厂商竞争力分析
第一节 宁波江丰电子材料股份有限公司
一、企业发展基本情况
二、企业主要产品分析
三、企业经营状况分析
四、企业销售网络布局
五、企业发展战略分析
第二节 昆山新莱洁净应用材料股份有限公司
一、企业发展基本情况
二、企业主要产品分析
三、企业经营状况分析
四、企业销售网络布局
五、企业发展战略分析
第三节 深圳市恒运昌真空技术股份有限公司
一、企业发展基本情况
二、企业主要产品分析
三、企业经营状况分析
四、企业销售网络布局
五、企业发展战略分析
第四节 沈阳富创精密设备股份有限公司
一、企业发展基本情况
二、企业主要产品分析
三、企业经营状况分析
四、企业销售网络布局
五、企业发展战略分析
第九章中国半导体设备零部件行业投资现状与前景分析
第一节 2021-2025年中国半导体设备零部件行业投资现状
一、2021-2025年中国半导体设备零部件行业投资规模
二、2021-2025年中国半导体设备零部件行业投资结构
三、行业投资形势
第二节 2026-2032年中国半导体设备零部件行业投资前景分析
一、半导体设备零部件行业发展前景
二、半导体设备零部件发展趋势分析
三、半导体设备零部件市场前景分析
第三节 2026-2032年中国半导体设备零部件行业投资风险分析
一、产业政策分析
二、原材料风险分析
三、市场竞争风险
四、技术风险分析
第四节 2026-2032年半导体设备零部件行业投资策略及建议
第十章2026-2032年中国半导体设备零部件行业发展预测分析
第一节 2026-2032年中国半导体设备零部件行业产量预测
第二节 2026-2032年中国半导体设备零部件行业需求量预测
第三节 2026-2032年中国半导体设备零部件行业规模预测
第四节 2026-2032年中国半导体设备零部件行业竞争预测
第五节 2026-2032年中国半导体设备零部件行业发展趋势
第六节 2026-2032年中国半导体设备零部件行业价格或价格指数预测
第七节 影响半导体设备零部件行业发展的主要因素
图表目录
图表1：半导体设备零部件分类
图表2：中国半导体设备零部件行业所处生命周期示意图
图表3：2020-2025年中国GDP发展运行情况
图表4：半导体设备零部件行业政策
图表5：我国及部分省市半导体设备零部件行业相关政策
图表6：我国半导体设备行业部分相关政策
图表7：我国部分省市半导体设备行业相关政策
图表8：半导体设备零部件行业部分进出口税率情况
图表9：2015-2025年中国就业人员数量统计
图表10：2016-2025年中国半导体设备零部件行业相关专利申请趋势分析
图表11：2016-2025年中国半导体设备零部件行业相关专利申请人排名趋势分析
图表12：2015-2025年全球半导体设备零部件配套市场规模
图表13：2019-2025年全球半导体设备零部件区域配套市场规模
图表14：2015-2025年北美半导体设备零部件配套市场规模
图表15：2015-2025年欧洲半导体设备零部件配套市场规模
图表16：2025-2032年全球半导体设备零部件配套市场规模预测
图表17：2015-2025年中国半导体设备零部件行业市场规模及增速
图表18：2015-2025年中国半导体设备零部件行业市场规模及占比全球比重情况
图表19：2026-2032年半导体设备零部件行业市场规模及增速预测
图表20：2015-2025年中国半导体设备零部件行业市场规模及构成
图表21：2021-2025年中国半导体设备零部件行业产值情况
图表22：2021-2025年中国半导体设备零部件行业需求情况
图表23：2025年中国半导体设备零部件细分市场集中度
图表24：2025年中国半导体设备零部件区域消费集中度
图表25：国内半导体设备零部件行业主要企业技术水平
图表26：2025年中国半导体设备零部件行业主要企业业务规模
图表27：中外半导体设备零部件竞争对比
图表28：重点企业动向
图表29：半导体产业分类
图表30：中国半导体分立器件行业发展历程
图表31：2015-2025年中国半导体分立器件市场规模
图表32：2015-2025年中国半导体分立器件产业产量规模
更多图表见正文……
◆ 本报告分析师具有专业研究能力，报告中相关行业数据及市场预测主要为公司研究员采用桌面研究、业界访谈、市场调查及其他研究方法，部分文字和数据采集于公开信息，并且结合智研咨询监测产品数据，通过智研统计预测模型估算获得；企业数据主要为官方渠道以及访谈获得，智研咨询对该等信息的准确性、完整性和可靠性做最大努力的追求，受研究方法和数据获取资源的限制，本报告只提供给用户作为市场参考资料，本公司对该报告的数据和观点不承担法律责任。
◆ 本报告所涉及的观点或信息仅供参考，不构成任何证券或基金投资建议。本报告仅在相关法律许可的情况下发放，并仅为提供信息而发放，概不构成任何广告或证券研究报告。本报告数据均来自合法合规渠道，观点产出及数据分析基于分析师对行业的客观理解，本报告不受任何第三方授意或影响。
◆ 本报告所载的资料、意见及推测仅反映智研咨询于发布本报告当日的判断，过往报告中的描述不应作为日后的表现依据。在不同时期，智研咨询可发表与本报告所载资料、意见及推测不一致的报告或文章。智研咨询均不保证本报告所含信息保持在最新状态。同时，智研咨询对本报告所含信息可在不发出通知的情形下做出修改，读者应当自行关注相应的更新或修改。任何机构或个人应对其利用本报告的数据、分析、研究、部分或者全部内容所进行的一切活动负责并承担该等活动所导致的任何损失或伤害。
01
智研咨询成立于2008年，具有17年产业咨询经验
02
智研咨询总部位于北京，具有得天独厚的专家资源和区位优势
03
智研咨询目前累计服务客户上万家，客户覆盖全球，得到客户一致好评
04
智研咨询不仅仅提供精品行研报告，还提供产业规划、IPO咨询、行业调研等全案产业咨询服务
05
智研咨询精益求精地完善研究方法，用专业和科学的研究模型和调研方法，不断追求数据和观点的客观准确
06
智研咨询不定期提供各观点文章、行业简报、监测报告等免费资源，践行用信息驱动产业发展的公司使命
07
智研咨询建立了自有的数据库资源和知识库
08
智研咨询观点和数据被媒体、机构、券商广泛引用和转载，具有广泛的品牌知名度
品质保证
智研咨询是行业研究咨询服务领域的领导品牌，公司拥有强大的智囊顾问团，与国内数百家咨询机构，行业协会建立长期合作关系，专业的团队和资源，保证了我们报告的专业性。
售后处理
我们提供完善的售后服务系统。只需反馈至智研咨询电话专线、微信客服、在线平台等任意终端，均可在工作日内得到受理回复。24小时全面为您提供专业周到的服务，及时解决您的需求。
跟踪回访
持续让客户满意是我们一直的追求。公司会安排专业的客服专员会定期电话回访或上门拜访，收集您对我们服务的意见及建议，做到让客户100%满意。
![2025年中国半导体设备零部件行业发展历程、市场政策、产业链图谱、市场规模、竞争格局及发展趋势分析：市场格局较为分散[图]](http://img.chyxx.com/images/2022/0330/b388a599ab8b82a70e79838a8b0d600efa11727f.png?x-oss-process=style/w320)
