2021年全球及中国半导体前道测试设备市场规模及市场格局分析：内半导体前道检测设备市场规模约为160.6亿元[图]

    一、市场规模

    集成电路是二十世纪人类科技史上最伟大的发明之一。以集成电路为代表产品的半导体产业作为当今信息产业的基础和核心，在推动经济发展、社会进步，提高人民生活水平以及保障国家安全等方面正发挥着日益重要的作用，已成为当前国际科技和产业竞争的焦点，也是衡量一个国家和地区现代化程度和综合国力的重要标志。从人们日常生活中使用的各种家用电器到医疗卫生、工业农业、航天航海等各领域，都显示了半导体器件的巨大作用，2020年全球半导体设备市场规模达711亿美元，较2019年增加了113亿美元，同比增长18.9%，未来将继续保持增长，预计2022年全球半导体设备市场规模将达到1013亿美元。

2014-2022年全球半导体设备市场规模统计及预测

资料来源：Semi、智研咨询整理

    智研咨询发布的《2021-2027年中国半导体检测设备行业市场全景分析及发展趋势研究报告》数据显示：从中国市场来看，2020年中国大陆半导体设备市场规模达187.2亿美元，较2019年增加了52.70亿美元，同比增长39.2%。

2014-2020年中国大陆半导体设备市场规模统计及预测

资料来源：Semi、智研咨询整理

    近年来中国大陆半导体设备市场规模占全球半导体设备市场规模的比例逐年攀升，2020年中国大陆半导体设备市场规模占全球半导体设备市场规模的26.33%，较2014年的11.73%增长了14.60%，半导体设备国产替代明显。

2014-2020年中国大陆半导体设备市场规模占全球半导体设备市场规模的比例

资料来源：Semi、智研咨询整理

    2020年国内半导体设备市场规模达187.2亿美元，2021年约同比增长10%，测算2021年国内半导体前道检测设备市场分别达到24.7亿美元，约为160.6亿元人民币，前道测试设备市场空间超百亿美元，未来采购需求有望大幅上修。

2021年中国半导体前道检测设备市场规模占半导体设备市场规模的比例

资料来源：Semi、智研咨询整理

    二、市场格局

    前道量测设备进一步细分为量测设备、缺陷检测设备以及过程控制软件，其中缺陷检测设备占前道检测设备的55%，占比最大；量测设备占前道检测设备的34%；过程控制软件占前道检测设备的11%。

前道量测设备中各类设备占比

资料来源：Semi、智研咨询整理

    进一步按产品细分，膜厚测量设备占比约12%；CD-SEM占比约12%；套刻误差测量占比约9%；宏观缺陷检测占比约6%；有图形晶圆检测占比约34%；无图形晶圆检测占比约5%；电子束检测占比约12%。

前道测试设备中各类设备占比

资料来源：Semi、智研咨询整理

    前道检测设备领域，KLA占52%的份额；AMAT占12%的份额；Hitachi占11%的份额；Nano占4%的份额；HemesMicrovison占3%的份额；Nava占2%的份额；场集中度较高，且基本被海外公司所垄断。

全球前道量测/检测设备市场竞争格局

资料来源：Gartner、智研咨询整理

    KLA在检测设备领域市占率有绝对优势，在晶圆形貌检测、无图形晶圆检测、有图形晶圆检测领域市占率分别达到85%、78%、72%，具有绝对垄断优势。

KLA在各个环节的市占率

资料来源：Gartner、智研咨询整理

    三、国内重点厂商介绍

    国内量检测领域目前主要参与公司有上海精测、上海睿励、中科飞测、东方晶圆等，目前正在积极推出其产品线，推动国产量测设备发展。精测与睿励主要聚焦于膜厚及OCD量测，已获国内一线存储厂商重复订单，中科飞测产品以形貌测试为主，已进入国内多家生产线，如中芯国际、长江存储、士兰微等，东方晶源主要攻克EBI和CD-SEM，目前产品也已实现交付，填补了我国空缺的关键领域。

国内半导体量检测领域主要参与企业业务布局

资料来源：智研咨询整理