2013年玻璃基板产业技术路径分析

    内容摘要：浮法以前主要用于TN/STN玻璃基板，后来旭硝子成功利用浮法制造无碱玻璃基板，成为浮法制造TFT玻璃基板的代表厂商。

   玻璃基板的制造工艺主要有浮法、流孔下引法和溢流熔融法三种，目前主流工艺是溢流熔融法。

玻璃基板制造工艺对比分析

资料来源：产业信息网整理

   一、浮法制造工艺

   浮法制造工艺是应用最广泛、历史最悠久的平板玻璃制造工艺。该法是将熔融玻璃液传输至装有熔融液态锡的沟槽，利用锡和玻璃的密度差，在玻璃液表面张力和重力作用下自然摊平，再进入冷却室冷却成型。浮法玻璃需要后段进一步研磨、抛光等加工。浮法的优势在于产能高、易于玻璃基板面积尺寸的扩大，成本低于其它工艺，但是后段处理带来的开销又抵消了部分成本优势。浮法以前主要用于TN/STN玻璃基板，后来旭硝子成功利用浮法制造无碱玻璃基板，成为浮法制造TFT玻璃基板的代表厂商。

   二、流孔下拉法

   流孔下拉法是将熔融玻璃液导入由铂合金制程的流孔漏板槽中，在重力的作用下玻璃溶液流出，再通过滚轮碾压、冷却室固化成型。流孔大小和下引速度决定玻璃厚度，温度分布决定玻璃的平整度。流孔在此工艺中的作用十分重要，其尺寸稳定与否关系到玻璃厚度是否均匀、表面是否平坦等关键指标，但由于外力作用流孔可能变形，良率就会出现波动。另外由于玻璃表面与滚轮接触，所以平整度也会受到影响，故此流孔下拉法也需要后段抛光加工。主要使用该工艺的厂商是电气硝子。但目前由于此工艺优势不明显，已逐渐被淘汰。

   三、溢流熔融法

   溢流熔融法是将熔融玻璃液导入导管，玻璃液到达容积上限后从导管两侧沿管壁向下溢流而出，类似瀑布一样在下方汇流后形成片状基板。溢流熔融法由著名玻璃基板厂商康宁主导（目前专利已过期），由于此工艺玻璃在成型时不需要接触任何介质（浮法接触液态锡、流孔法接触金属滚轮），不会产生因和介质有接触而造成的玻璃表面性质差异等问题，故此不需要后端抛光等加工，现在已经成为TFT-LCD玻璃基板制造工艺的主流。现在大陆东旭集团也已经掌握该工艺，并已经成熟应用量产玻璃基板。