2026年中国高纯三氯化硼行业产业链、市场规模及发展趋势研判：先进制程驱动行业开展“纯度”竞赛，攻克合成与痕量杂质核心技术成行业决胜关键[图]

内容概况：中国高纯三氯化硼行业正处在国产化替代攻坚与产业升级并举的关键发展期。2024年，中国高纯三氯化硼行业市场规模为32.22亿元，同比增长6.72%。随着先进半导体制程的演进，对气体纯度的要求已从5N向5N5、6N乃至更高等级发展，这要求企业必须持续攻克无氧无水合成、痕量杂质分析与去除等核心技术。

相关上市企业：金宏气体（688106）、华特气体（688268）、中船特气（688146）、和远气体（002971）

相关企业：西藏矿业发展股份有限公司、新疆中泰化学股份有限公司、沧州大化股份有限公司、中芯国际集成电路制造有限公司、京东方科技集团股份有限公司、通威股份有限公司、隆基绿能科技股份有限公司、科大国盾量子技术股份有限公司、宁德时代新能源科技股份有限公司、比亚迪股份有限公司

关键词：高纯三氯化硼、高纯三氯化硼市场规模、高纯三氯化硼行业现状、高纯三氯化硼发展趋势

一、行业概述

高纯三氯化硼（Boron Trichloride，BCl₃）指纯度≥99.999 %（5N级）的三氯化硼。常温下为无色发烟液体或气体，具有强烈刺激性酸味；不可燃，但遇水剧烈水解生成氯化氢和硼酸，在潮湿空气中形成白色腐蚀性烟雾。它是半导体、光电等高端制造中的关键电子特气，用作硅片的p型掺杂源、干法蚀刻剂以及铝/镁合金的提纯剂等，属于战略级高纯化学品。

二、行业产业链

高纯三氯化硼行业产业链上游主要包括硼矿及硼化合物、氯气、催化剂、吸附剂、有机溶剂、惰性气体等原材料，以及高温反应釜、精馏塔、吸附塔等生产设备。产业链中游为高纯三氯化硼生产制造环节。产业链下游主要应用于半导体、显示面板、光伏、量子计算、新能源电池等领域。

根据美国地质局数据显示，2024年，中国硼矿产量约为34万吨，同比增长13.33%。高纯三氯化硼的生产原料来源于工业级三氯化硼，而后者由硼化物与氯气反应制得。因此，上游硼矿石供应的增加和稳定，有助于降低原料端的波动风险。国内大部分硼矿属于低品位、难选冶的硼镁石矿，其后续加工链条长、提纯难度大。因此，产量的增长主要保障了基础化工和传统工业的需求，而要实现用于高端半导体蚀刻的“电子级”硼源，仍需依赖复杂的物理化学纯化技术和精密的合成工艺。

随着产业自主可控能力的稳步提升和内外市场需求的结构性驱动，2025年，中国集成电路产量为4843亿块，同比增长7.28%。作为半导体制造核心特种气体，高纯三氯化硼在干法刻蚀、离子注入等工艺中不可替代，其纯度直接影响芯片良率与性能。随着芯片产量的攀升，海量的晶圆需要经历这些精密工序，从而对高纯三氯化硼的消耗量形成了最稳定、最刚性的需求拉动。

相关报告：智研咨询发布的《中国高纯三氯化硼行业市场全景分析及投资机会研判报告》

三、市场规模

中国高纯三氯化硼行业正处在国产化替代攻坚与产业升级并举的关键发展期。2024年，中国高纯三氯化硼行业市场规模为32.22亿元，同比增长6.72%。随着先进半导体制程的演进，对气体纯度的要求已从5N向5N5、6N乃至更高等级发展，这要求企业必须持续攻克无氧无水合成、痕量杂质分析与去除等核心技术。

四、重点企业经营情况

高纯三氯化硼（纯度≥99.999%）作为半导体制造中关键的刻蚀和化学气相沉积（CVD）气体，技术壁垒极高。长期以来，林德集团等海外企业凭借技术与品牌优势占据了市场主导地位。中国本土市场，以大连科利德为代表的本土领军企业，通过自主创新已率先实现6.5N级（纯度99.99995%）产品的产业化，其产品成功应用于12英寸3纳米等先进制程，成为国产替代的关键力量。

中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司聚焦于电子氟化材料领域，主要从事电子特种气体及三氟甲磺酸系列产品的研发、生产和销售。主要产品包括三氯化硼等，产品广泛应用于集成电路、显示面板、锂电新能源、医药、光纤等行业，是上述产业发展不可或缺的关键性材料。经过多年发展和积累，公司目前已经具备电子特种气体及含氟新材料等70余种产品的生产能力。2025年前三季度，中船特气营业收入为16.07亿元，同比增长14.90%；归母净利润为2.45亿元，同比增长3.98%。

湖北和远气体股份有限公司旗下潜江电子特气产业园主要产品包含电子级超纯氨、电子级氯化氢、电子级氯气、电子级溴化氢、电子级三氯化硼、电子级三甲基铝、电子级甲烷、电子级一氧化碳、高纯羰基硫等电子特气及电子化学品。2025年前三季度，和远气体营业收入为12.32亿元，同比增长3.32%；归母净利润为0.58亿元，同比下降1.86%。

五、行业发展趋势

1、技术壁垒持续提升，纯度与稳定性成为竞争制高点

随着半导体工艺节点不断向3纳米甚至更先进制程演进，行业对核心材料的要求达到了前所未有的高度。高纯三氯化硼的技术竞争已超越基础纯度（如5N级），转而追求更高等级（如6.5N以上）以及极致的杂质控制。这意味着企业必须攻克痕量杂质（如金属离子、水分）分析及去除等底层核心技术。以大连科利德为例，其通过自主研发已实现6.5N级产品的产业化，并成功应用于12英寸3纳米先进产线。未来，仅能生产通用产品的企业将面临淘汰，竞争的焦点将集中在谁能提供纯度更高、批次稳定性更强、满足先进工艺特殊配方需求的产品上。

2、产业链纵向整合与横向拓展成为主流战略，增强客户粘性

单一产品模式难以适应市场复杂需求和保障供应链安全，龙头企业正采取“纵向深耕+横向扩张”的复合战略。在纵向上，企业通过加强研发，向上游的合成与提纯技术延伸，向下游的客户应用方案深入，构建从创新到服务的完整价值链。在横向上，领先企业不再局限于三氯化硼单品，而是积极拓展半导体前驱体材料等高端品类。福建久策等企业也通过提供包括三氯化硼在内的数十种电子特气，为客户提供一站式解决方案。这种趋势旨在通过产品组合增强客户粘性，降低市场波动风险，最终形成以核心技术为支撑的综合型材料平台。

3、市场集中度在国产替代浪潮中加速提升，强者恒强

在政策和市场的双重驱动下，国产化替代已成为确定性的战略主线。这一过程将重塑竞争格局，推动市场份额向少数技术实力雄厚的头部企业集中。掌握关键技术和先发认证优势的领先企业，如已服务于国内外头部晶圆厂的大连科利德，将凭借其产品性能、稳定供应能力和技术迭代速度，构筑起强大的护城河。同时，行业将通过兼并重组等方式进行整合。未来，预计将形成少数几家具有国际竞争力的国内龙头企业主导高端市场，众多中小企业聚焦特定细分领域的清晰分层格局。

以上数据及信息可参考智研咨询（www.chyxx.com）发布的《中国高纯三氯化硼行业市场全景分析及投资机会研判报告》。智研咨询是中国领先产业咨询机构，提供深度产业研究报告、商业计划书、可行性研究报告及定制服务等一站式产业咨询服务。您可以关注【智研咨询】公众号，每天及时掌握更多行业动态。