研判2025！中国等离子表面处理设备行业产业链、市场规模及重点企业分析：行业需求旺盛，驱动制造业向高精度、绿色化升级[图]

内容概况：等离子表面处理设备广泛应用于电子、半导体、汽车、医疗、航空航天等多个行业。随着这些行业的快速发展，对等离子表面处理设备的需求也在不断增加。2024年，中国等离子表面处理设备行业市场规模为918亿元，同比增长30.58%。在电子和半导体领域，等离子技术用于芯片制造中的清洗、刻蚀等关键工艺，随着国内半导体产业的快速发展，对等离子表面处理设备的需求不断增加。在汽车制造领域，等离子表面处理技术用于零部件的表面清洁和活化，以提高零部件的附着力和耐腐蚀性。

相关上市企业：中微公司（688012）

相关企业：瀚海聚能科技有限公司、成都旭光电子股份有限公司、苏州英杰电气有限公司、金宏气体股份有限公司、山东伯仲真空科技股份有限公司、中控技术股份有限公司、北方华创科技集团股份有限公司、中微半导体设备（上海）股份有限公司、深圳市东信高科自动化设备有限公司、杭州科脉等离子设备有限公司

关键词：等离子表面处理设备、等离子表面处理设备市场规模、等离子表面处理设备行业现状、等离子表面处理设备发展趋势

一、行业概述

等离子表面处理设备是一种利用等离子体（物质第四态）对材料表面进行物理化学改性的工业设备。其核心原理是通过高频电场、微波或射频能量电离工艺气体（如氧气、氩气、氮气等），形成包含高能电子、离子、自由基和活性粒子的等离子体。这些活性粒子与材料表面发生反应，实现清洁、活化、蚀刻或涂层等功能，从而提升材料表面的附着力、亲水性、耐腐蚀性、生物相容性等性能。该技术广泛应用于印刷包装、电子制造、汽车工业、医疗生物、塑料橡胶、金属涂装等领域，可替代传统打磨、化学处理等工艺，具有环保、高效、低成本的优势。按工作原理分类，等离子表面处理设备主要分为常压等离子设备、真空等离子设备、微波等离子设备、射频等离子设备等类别。

二、行业产业链

等离子表面处理设备行业产业链上游主要包括等离子体发生器、射频电源模块、真空电容器、气体供应系统、真空泵、喷枪、控制系统及传感器等核心组件。产业链中游为等离子表面处理设备生产制造环节。产业链下游主要应用于半导体、汽车工业、医疗生物、新能源、印刷包装等领域。

随着国内科技产业的不断升级，半导体、电子等高端制造业对等离子体射频电源系统的需求持续攀升。在半导体制造领域，等离子体技术在光刻、刻蚀等关键工艺中发挥着不可或缺的作用，而射频电源系统作为核心部件，其性能直接影响工艺的精度与效率。随着国内半导体产业的加速扩张，对高性能射频电源系统的需求也日益旺盛，有力地推动了市场规模的增长。2024年，中国等离子体射频电源系统行业市场规模约为123.3亿元，同比增长9.50%。等离子体射频电源系统是等离子表面处理设备的关键组成部分，其性能直接决定了设备的处理效果和效率。随着技术的不断进步，等离子体射频电源系统的功率、稳定性、可靠性等指标不断提升，为等离子表面处理设备的广泛应用提供了有力支撑。

随着5G通信、人工智能、物联网等新兴技术的迅猛发展，市场对集成电路的需求呈现出爆发式增长态势。5G网络的广泛部署促使智能手机、基站设备等对高性能集成电路的需求大幅增加；人工智能技术在各个领域的应用落地，如智能安防、自动驾驶等，进一步推动了对专用集成电路芯片的需求；物联网设备的普及，使得传感器、控制器等集成电路的市场需求持续攀升。这些新兴技术的快速发展，为集成电路产业提供了广阔的市场空间，有力地拉动了产量的增长。2025年1-8月，中国集成电路产量为3429.1亿块，同比增长20.53%。在芯片制造过程中，等离子表面处理设备在清洗、刻蚀、薄膜沉积等关键工艺中发挥着重要作用。等离子体技术能够有效去除表面杂质、改善表面附着力、提高材料的化学稳定性，从而提升芯片的性能和可靠性。随着集成电路产量的大幅增长，对等离子表面处理设备的需求也相应增加。

相关报告：智研咨询发布的《中国等离子表面处理设备行业市场研究分析及投资前景研判报告》

四、市场规模

等离子表面处理设备广泛应用于电子、半导体、汽车、医疗、航空航天等多个行业。随着这些行业的快速发展，对等离子表面处理设备的需求也在不断增加。2024年，中国等离子表面处理设备行业市场规模为918亿元，同比增长30.58%。在电子和半导体领域，等离子技术用于芯片制造中的清洗、刻蚀等关键工艺，随着国内半导体产业的快速发展，对等离子表面处理设备的需求不断增加。在汽车制造领域，等离子表面处理技术用于零部件的表面清洁和活化，以提高零部件的附着力和耐腐蚀性。

五、重点企业经营情况

中国等离子表面处理设备行业呈现“国际引领、本土崛起”的双层竞争格局。国际巨头如Nordson凭借高精度技术垄断半导体高端市场，而本土企业通过差异化策略快速渗透中低端领域。中微半导体依托半导体产业链优势，在蚀刻设备领域实现进口替代，其“等离子体源优化技术”提升设备稳定性，客户覆盖中芯国际、长江存储等头部晶圆厂。寒武纪技术苏州以低温宽幅处理技术突破精密器件市场，获ISO 13485认证，专利超67项，构建“快速交付+本地支持”体系。上海茂虹则深耕定制化设备，处理速度达100m/min，应用覆盖电子、汽车、医疗多领域，办事处遍布全国。

寒武纪技术(苏州)有限公司成立于2022年，聚焦低温等离子技术研发，突破45℃以下低温处理与宽幅处理效率提升3倍的技术瓶颈，适配半导体晶圆、柔性屏等精密器件。其产品线涵盖大气/真空等离子清洗机、旋转式处理系统，支持实验室到工业化定制，获ISO 13485医疗认证，累计专利超67项。典型案例包括为中国工程物理研究院定制的等离子清洗机连续运行超5000小时无故障，以及服务动力电池龙头企业、半导体设备制造商的专属解决方案。公司构建“5-7天快速交付+本地化技术支持”体系，服务网络覆盖全国，2025年专利申请量持续增长。

中微半导体设备(上海)股份有限公司成立于2004年，凭借“等离子体源与电极设计优化”技术实现高精度、低能耗表面处理，设备应用于半导体制造、光电设备制造，客户包括中芯国际、长江存储等。2025年新专利推动设备自动化，消除人为失误，提升稳定性，专利布局达1425项。其等离子体处理装置优化气体喷淋环设计，提升气体流量均匀性，降低能耗，支持AI算法优化工艺参数，推动半导体制造向智能化、绿色化演进，巩固高端市场地位，支撑5G、AI等新兴领域发展。2025年上半年，中微公司营业收入为49.61亿元，同比增长43.88%；归母净利润为7.06亿元，同比增长36.62%。

六、行业发展趋势

1、技术升级与创新，推动行业智能化转型

中国等离子表面处理设备行业正加速技术创新，聚焦高精度、低能耗及环保化方向。在等离子体产生技术领域，磁约束等离子体、激光等离子体等新型技术实现突破，如中微公司通过“等离子体源与电极设计优化”技术提升设备稳定性，处理效率提升30%，能耗降低20%。智能化方面，AI算法与传感器深度融合，实现工艺参数动态优化，如寒武纪技术苏州的低温等离子清洗机通过机器学习自动调整功率输出，处理精度达±0.1μm。

2、应用领域拓展，新兴市场崛起

行业应用场景持续拓宽，从传统半导体、汽车制造向医疗、环保、农业等领域延伸。在医疗领域，低温等离子消融技术应用于皮肤科、心血管内科，实现无创手术；上海茂虹的等离子设备为生物耗材提供亲水改性，使酶标板水接触角降至<10°，提升细胞培养效率。环保领域，等离子体废气处理技术实现工业VOCs减排超90%，苏州爱特维的设备在危废处理中实现重金属离子固化率98%。新兴市场方面，农业土壤修复、新能源汽车电池隔膜处理成为增长点，如诚峰智造的卷对卷等离子处理系统在动力电池生产中提升产能300%，特斯拉Model Y采用在线等离子清洗技术，焊接效率提升40%。

3、国家政策持续推动行业高质量发展，产业链整合升级

国家政策持续推动行业高质量发展。国家“十四五”规划将等离子技术纳入前沿科技攻关领域，国家自然科学基金、重点研发计划等渠道加大投入。产业链整合方面，本土企业通过核心部件国产化突破技术壁垒，如恒运昌14nm射频电源、中微公司1425项专利布局，实现设备自给率提升。国际竞争格局呈现“双轨并行”，国际巨头如Nordson占据高端市场，而中微等本土企业通过“设备+工艺包”模式在中低端市场崛起。

以上数据及信息可参考智研咨询（www.chyxx.com）发布的《中国等离子表面处理设备行业市场研究分析及投资前景研判报告》。智研咨询是中国领先产业咨询机构，提供深度产业研究报告、商业计划书、可行性研究报告及定制服务等一站式产业咨询服务。您可以关注【智研咨询】公众号，每天及时掌握更多行业动态。