中国化工新材料行业市场发展分析（4）【图】

    入股北京科华，占领国内光刻胶行业制高点的南大光电

    南大光电是光电新材料高纯金属有机源(MO源)的专业生产商。公司成立于2000年并于2012年实现上市。南大光电是国内 唯一一家拥有自主知识产权并实现了MO源产业化生产的公司，也是全球主要的MO源生产商。公司先后承担了“十五”、“十 一五”和“十二五”期间共五项863计划MO源产业化攻关项目。公司目前的主要产品为用于LED外延片生长的金属有机化 合物三家基稼与三甲基铟，三乙基稼。2013年公司申请国家科技重大专项--超大规模集成电路制造装备及成套工艺（简称“02 专项”）获批，设立全椒南大光电，承担建设“高纯磷烷、砷烷研发和产业化项目”，将业务拓展至特种电子气领域。今年9 月份公司公告通过股份转让和增资入股北京科华微电子，完成后合计持有其31.39%的股份。北京科华是国内超大规模集成电 路用光刻胶技术研发能力最强的公司，公司通过投资北京科华，以此为契机进入集成电路产业最关键材料之一的光刻胶领域。

    本文相关报告：智研咨询发布《2015-2020年中国化工新材料行业深度分析与投资前景研究报告》

南大光电产品线

    2012年公司上市以来，由于全球MO源产能扩张，恶性竞争，占公司营收五成的三甲基稼价格和毛利下滑幅度巨大，导致公 司近两年虽然产销量上升的营收却未见增长，净利润更是大幅度减少。不过相较竞争对手，公司三甲基稼合成路线的成本要 低30%左右，目前公司微利的情况下该产品已经逼近其他厂家成本线，将会逼退一部分落后产能，产品价格也有望就此企稳。 三甲基铟采用固体提纯，技术难度较高，竞争对手少，市场价格和毛利相对较为稳定。随着公司三甲基铟产能释放营收比例 提升以及三甲基稼价格企稳，公司2015年Q3业绩环比下滑收窄至个位数，MO源业务明年有望企稳回升。

公司主要产品和综合毛利率

    为加快推进02专项“高纯磷烷、砷烷研发和产业化项目”, 公司使用超募资金6,534.02万元对全资子公司全椒南大光电材料 有限公司进行增资。同时充为分调动团队的积极性，公司同意全椒南大光电向代表相关技术团队和管理团队的苏州丹百利电 子材料公司（以无形资产出资）定向增资扩股，为项目实施护航，同时公司也与增资团队约定了相应的业绩考核指标。目前 该项目已经完成基本建设和中试生产线建设，具备基本生产条件，高纯磷烷和高纯砷烷产品正在进行客户试用和论证。 根据 考核指标，项目将于2016年开始逐步贡献业绩，根据设计目标项目完全达产将实现销售收入14738万元和净利润7744万元。

    同时我们也注意到，全椒南大光电技术团队许从应先生和王陆平先生早年具有在国际最顶级的微电子设备生产原料、包装材 料和运输系统供应商美国ATMI公司任职经历，两位都是半导体行业资深专家，其带来的负压吸附型高危气体运输钢瓶SDS 技术极具科技含量，能以空运方式运输A区危害材料，目前该市场几乎全为ATMI公司所垄断。

    全椒南大管理/技术团队业绩考核指标

    我们尤其看好南大光电联姻的北京科华微电子在集成电路用高端光刻胶领域的发展潜力。光刻胶又称光致抗蚀剂 (photoresist)，是由感光树脂、增感剂和溶剂三种主要成分组成的对光敏感的一种混合液，是利用光化学反应进行图形转移的 媒介，被广泛应用于包括PCB板，TP（触控面板），LCD，分立器件，集成电路在内的整个电子工业的微细加工过程中。以 光刻技术为代表的平面加工工艺是支撑集成电路制造产业发展的的基础。

    光刻胶根据曝光波长来区分，光刻胶可分为g线胶（436nm），i线胶（365nm），DUV胶（深紫外，包括KrF胶（248nm） 和ArF胶(193nm)）, EUV胶（极紫外，采用13.4nm的曝光光长）。一般复杂结构的集成电路芯片加工中往往要经过几十道 曝光工序，要用到几十种不同的光刻胶。对于8寸硅晶圆，250nm以上工艺主要用到i线胶，而180nm以下工艺用到i线胶 和KrF胶；到了12寸硅晶圆加工，主要应用KrF胶和ArF胶，而到了40/45nm以下的先进制程，更多是用最先进的ArF胶。 光刻胶的发展方向就是不断开发更低曝光波长的产品来适应更先进集成电路加工工艺对于获得更窄线宽的要求。相同容量的 一款光刻胶，KrF胶的的价格是i线胶的2倍，而ArF胶的价格更是比i线胶贵近十倍。2014年，全球半导体光刻胶市场容 量约12亿美元，超过三分之二的份额为ArF胶合KrF胶。

集成电路加工工艺及相应光刻胶技术演进图

    北京科华最早在2009年建成投产的国内第一条具有自主知识产权的紫外正性光刻胶生产线，具备生产集成电路用高分辨ｇ线 正胶、ｉ线正胶的能力。2012年公司建成了国内第一条248nm深紫外光刻胶(KrF胶)的生产线，成为国内唯一一家拥有高档 光刻胶研发及生产能力的公司。公司2014年实现营业收入约4800万，其中g,i线产品收入约2000万。据我们产业调研，公 司一款KrF胶自2014年底通过中芯国际认证，已持续获得商业订单，目前公司另有数款i线，KrF胶在中芯国际测试，同时 公司在华润上华的测试也进行得较为顺利。目前中芯国际等国内芯片制造厂对于配套材料的国产化抱开放支持的态度，只要 有一款产品能突破其长期稳定性验证，会为后续更多光刻胶产品进入其供应体系打开局面。我们有理由期待在获得南大光电 资金支持情况下，北京科华的光刻胶产品将加快国产替代进程。

中国半导体光刻胶市场情况

    目前中芯国际一家一年采购的光刻胶材料就在3亿人民币左右，国产光刻胶产品的市场空间和发展前景可期。我们强烈推荐 未来集Mo源，高纯电子气，半导体光刻胶三类高技术含量电子化学品协同发展于一体的南大光电，市场应当予其价值充分评估。