研判2026！中国刻蚀机行业政策、行业壁垒、产业链、市场规模、竞争格局及发展趋势分析：竞争格局高度集中且激烈，中国企业将扮演越来越重要的角色[图]

内容概要：刻蚀机是一种用于半导体制造的工艺试验仪器，它通过将化学反应物和物理能量相结合，去除材料表面的一部分，从而创建所需的微细结构，主要用来制造半导体器件、光伏电池及其他微机械等。近年来，全球刻蚀机市场规模呈增长趋势。2023年全球刻蚀机市场规模约为148.2亿美元，同比增长5.93%，2024年市场规模约为156.5亿美元。2025年全球刻蚀机市场规模将达164.8亿美元。

上市企业：中微公司[688012]、屹唐股份[SH:688729]、北方华创[002371]

相关企业：中国电科、创世威纳科技、金盛微纳科技、芯源科创、华林科纳、LAMResearch、TEL、AMAT

关键词：刻蚀机行业政策、刻蚀机行业壁垒、刻蚀机行业产业链、刻蚀机市场规模、刻蚀机市场竞争格局、刻蚀机行业发展趋势

一、刻蚀机行业定义及分类

刻蚀机是一种用于半导体制造的工艺试验仪器。它通过将化学反应物和物理能量相结合，去除材料表面的一部分，从而创建所需的微细结构。刻蚀机主要分为湿法刻蚀机和干法刻蚀机，其中，湿法刻蚀机分为化学刻蚀机和电解刻蚀机；干法刻蚀机分为离子铣刻蚀机、等离子刻蚀机和反应离子刻蚀机。

二、刻蚀机行业发展现状

刻蚀机主要用来制造半导体器件、光伏电池及其他微机械等。近年来，全球刻蚀机市场规模呈增长趋势。2023年全球刻蚀机市场规模约为148.2亿美元，同比增长5.93%，2024年市场规模约为156.5亿美元。2025年全球刻蚀机市场规模将达164.8亿美元。

相关报告：智研咨询发布的《中国刻蚀机行业市场供需态势及投资潜力研判报告》

三、刻蚀机行业产业链

刻蚀机行业产业链上游主要包括预真空室、刻蚀腔体、供气系统和真空系统等半导体材料和零部件；行业中游为刻蚀机制造与系统集成；行业下游应用于微电子机械系统（MEMS）、先进封装及纳米技术等半导体、光学和电子工业领域。

四、刻蚀机行业发展环境-相关政策

刻蚀机作为半导体制造的核心设备，其技术水平直接关系到半导体产业的发展，我国政府高度重视刻蚀机产业的发展，近年来相继出台了一系列政策支持。部分政策具体如下：

五、刻蚀机行业壁垒

刻蚀机作为半导体制造的核心设备之一，其行业壁垒极高，主要体现在技术、资金、客户认可度等多个层面。具体如下：

六、刻蚀机行业竞争格局

1、主要企业

刻蚀机行业竞争格局呈现出高度集中且竞争激烈的态势。在全球刻蚀机市场，LamResearch、TEL、AMAT三家国际企业凭借先进的技术、丰富的产品线占据主导地位。国内刻蚀机企业主要有北方华创、中微公司、中国电科、屹唐半导体、创世威纳科技、金盛微纳科技、芯源科创、华林科纳等，业务前三大企业为中微公司、北方华创、屹唐半导体。它们凭借自主研发和创新能力，逐渐在刻蚀机领域崭露头角，成为国内刻蚀机行业的领军企业。

2、代表企业

1）、北方华创科技集团股份有限公司

北方华创专注于半导体基础产品的研发、生产、销售和技术服务，主要产品为电子工艺装备和电子元器件，电子工艺装备包括半导体装备、真空及新能源装备。电子元器件包括电阻、电容、晶体器件、模块电源、微波组件等。

在半导体装备业务板块，北方华创的主要产品包括刻蚀、薄膜沉积、热处理、湿法、离子注入等核心工艺装备，广泛应用于集成电路、功率半导体、三维集成和先进封装、化合物半导体、新型显示等制造领域。北方华创在刻蚀设备领域，已形成了ICP、CCP、Bevel刻蚀设备、高选择性刻蚀设备和干法去胶设备的全系列产品布局。

据企业公告数据显示，2025年前三季度，北方华创实现营业收入273.01亿元，归属于上市公司股东的净利润51.30亿元。

2）、中微半导体设备（上海）股份有限公司

中微公司主要从事高端半导体设备及泛半导体设备的研发、生产和销售，通过向下游集成电路、LED外延片、先进封装、MEMS等半导体产品的制造，主营产品等离子体刻蚀设备和薄膜设备作为光刻机之外的核心微观加工设备，其制程步骤复杂度与工艺开发难度均在业内处于突出地位。中微公司已有的刻蚀产品已经对28纳米以上的绝大部分CCP刻蚀应用和28纳米及以下的大部分CCP刻蚀应用形成较为全面的覆盖。针对28纳米及以下的逻辑器件生产中广泛采用的一体化大马士革刻蚀工艺，公司开发的可调节电极间距的CCP刻蚀机PrimoSD-RIE已进入国内领先的逻辑芯片制造客户端，初步电性验证已经通过，正在进行更多的器件功能测试。PrimoSD-RIE也已经进入28纳米以下的研发线，就多项关键刻蚀工艺开展现场研发工作。

据企业公告数据显示，2024年，中微公司生产刻蚀设备1414腔，销量908腔，刻蚀设备营业收入72.77亿元；2025年前三季度中微公司刻蚀设备实现销售收入61.01亿元。

七、刻蚀机行业发展趋势

刻蚀技术作为半导体制造的核心工艺，承担着将光刻胶上的图形精确转移到晶圆表面薄膜的关键任务。随着集成电路线宽的持续减小和3D集成电路的发展，刻蚀机已跃居集成电路采购额最大的设备类型。在国家政策的支持下，中国刻蚀机产业呈现爆发式增长，展现出强劲的发展势头。中国刻蚀机产业正呈现出多元化、差异化的发展态势，在各细分领域都取得了显著进展。基于全球半导体技术发展趋势和各厂商的战略布局，刻蚀机未来将向平台化布局、原子级制造两个核心方向演进。未来，全球刻蚀机市场的竞争格局将持续演变，中国企业将扮演越来越重要的角色。

以上数据及信息可参考智研咨询（www.chyxx.com）发布的《中国刻蚀机行业市场供需态势及投资潜力研判报告》。智研咨询是中国领先产业咨询机构，提供深度产业研究报告、商业计划书、可行性研究报告及定制服务等一站式产业咨询服务。您可以关注【智研咨询】公众号，每天及时掌握更多行业动态。