2026年中国MEMS微纳米制造零部件行业产业链、市场规模、竞争格局及发展趋势研判：随着MEMS技术在多个领域加速渗透，市场规模有望达到77亿元[图]

内容概要：MEMS微纳米制造零部件行业是指从事微机电系统（MEMS）相关微纳米尺度零部件设计、制造、封装、测试等业务的产业领域，用于微机电系统制造工艺过程中的各种精密工具、耗材、载体和子系统。MEMS技术作为微电子与机械工程深度融合的前沿领域，近年来在消费电子、汽车电子、工业自动化及医疗健康等领域的渗透加速，推动全球市场规模持续扩张。MEMS微纳米制造零部件是连接MEMS设计理念与最终实物产品的物理桥梁和关键使能要素，是“智能终端微型化、智能化”的核心支撑。传感器是MEMS微纳米制造零部件的最大细分市场，其次是声学模组。2025年全球MEMS微纳米制造零部件市场规模增长至73亿元，其中，声学模组11亿元，占15.07%；光学模组10亿元，占13.70%；压力传感器18亿元，占24.66%；惯性传感器18亿元，占24.66%。预计2026年全球MEMS微纳米制造零部件市场规模有望达到77亿元，其中，声学模组约12亿元，约占15.58%；光学模组约10亿元，约占12.99%；压力传感器约20亿元，约占25.97%；惯性传感器约19亿元，约占24.68%。

上市企业：瑞声科技[02018]、华润微[688396]、歌尔股份[002241]、士兰微[600460]、纳芯微电子[688052]、敏芯股份[688286]、和林微纳[688661]、赛微电子[300456.SZ]

相关企业：歌尔微电子股份有限公司、美新半导体有限公司、河北美泰电子科技有限公司、苏州纳芯微电子股份有限公司、苏州敏芯微电子技术股份有限公司、苏州硅时代电子科技有限公司

关键词：MEMS微纳米制造零部件行业产业链、MEMS微纳米制造零部件市场规模、MEMS微纳米制造零部件市场竞争格局、MEMS微纳米制造零部件行业代表企业、MEMS微纳米制造零部件行业发展趋势

一、MEMS微纳米制造零部件行业定义及分类

MEMS是一种利用微加工技术制造出的微型机械或机械电子器件，它结合了电子和机械技术，能够在微米或纳米尺度上实现电子和机械功能。它的核心思想是将机械结构微小化，通过微型传感器、执行器、控制器等实现微型系统的智能化和集成化。微纳制造就是在微米（百万分之一米）到纳米（十亿分之一米）尺度上设计、加工、组装材料和器件的技术。

MEMS微纳米制造零部件行业是指从事微机电系统（MEMS）相关微纳米尺度零部件设计、制造、封装、测试等业务的产业领域，用于微机电系统制造工艺过程中的各种精密工具、耗材、载体和子系统。它们是实现MEMS器件（如加速度计、陀螺仪、麦克风、压力传感器、微镜等）从设计图纸到物理芯片的关键物质基础，包括声学模组、光学模组、压力传感器、惯性传感器及其他零部件等。它们的关键特点是微型化、集成化、批量化生产。

二、MEMS微纳米制造零部件行业发展现状

MEMS技术作为微电子与机械工程深度融合的前沿领域，近年来在消费电子、汽车电子、工业自动化及医疗健康等领域的渗透加速，推动全球市场规模持续扩张。MEMS微纳米制造零部件是连接MEMS设计理念与最终实物产品的物理桥梁和关键使能要素，是“智能终端微型化、智能化”的核心支撑。2025年，全球MEMS微纳米制造零部件市场规模从2020年的5.5亿元增长至73亿元，预计2026年有望达到77亿元。

传感器是MEMS微纳米制造零部件的最大细分市场，其次是声学模组。2025年，全球声学模组市场规模11亿元，占MEMS微纳米制造零部件的15.07%；光学模组市场规模10亿元，占13.70%；压力传感器市场规模18亿元，占24.66%；惯性传感器市场规模18亿元，占24.66%。预计2026年，全球声学模组市场规模12亿元，占MEMS微纳米制造零部件的15.58%；光学模组市场规模10亿元，占12.99%；压力传感器市场规模20亿元，占25.97%；惯性传感器市场规模19亿元，占24.68%。

三、MEMS微纳米制造零部件行业产业链

MEMS微纳米制造零部件行业产业链上游包括高级金属与合金、硅基材料、聚合物材料、光刻胶、蚀刻气体、封装材料等原材料及辅材，以及纳加工设备、封装测试设备、检测设备等精密设备，上游关键材料、精密设备及辅助耗材，技术壁垒高，部分高端领域仍依赖进口。行业中游MEMS微纳米制造零部件生产制造，该领域是典型的高技术壁垒、高附加值的高端制造业细分市场。行业下游应用于MEMS微纳米制造领域，终端被广泛应用于航空航天、汽车、生物医疗、消费电子等领域。

在商业航天领域，MEMS的微型化、轻量化、低功耗和高可靠性完美契合了其“降本增效”的核心诉求，因为减轻每一克重量都意味着节省巨额发射成本。航天技术是一国综合实力的体现，各国在航天领域展开了激烈的竞争。在国家政策的大力支持下，我国商业航天活动日益活跃，商业发射次数高速增长，商业航天的广度不断扩大。2024年我国进行了68次火箭发射，入轨66次，成功率为97%。2025年2月11日，我国新型运载火箭长征八号甲运载火箭在中国文昌航天发射场点火起飞。随后，火箭顺利将卫星互联网低轨02组卫星送入预定轨道。预计2025年我国航天发射次数有望再上新台阶。

四、MEMS微纳米制造零部件行业竞争格局

1、主要企业

中国MEMS微纳米制造零部件市场格局主要呈现外资主导，国产替代加速，从低到高突破的特征，国内企业围绕核心技术自主可控的、从供应链边缘向核心阵地发起的攻坚。虽然国产企业已在多个细分点实现突破，但整体仍处于追赶阶段。目前，国内MEMS微纳米制造零部件行业主要有瑞声科技、华润微、歌尔微电子、美新半导体、士兰微、美泰科技、矽睿科技、纳芯微电子、敏芯微电子技术股份、明皜传感等优秀企业。

2、代表企业

1）、苏州和林微纳科技股份有限公司

和林微纳主要产品为MEMS精微电子零部件系列产品，其中又以精微屏蔽罩为主。精微屏蔽罩的主要功能是屏蔽各种外部电磁及热源，被广泛运用于消费电子、医疗电子、汽车电子等领域。其中TWS（TrueWirelessStereo）耳机是精微屏蔽罩的主要应用领域之一，被用于抗电磁信号、实现信号稳定。除了（MEMS）精微电子零部件外，另一个飞速成长的领域——芯片测试探针，则在经过孵化后，已经成为公司又一大业务亮点。

据企业公告数据显示，2025年上半年，和林微纳主营业务收入4.32亿元，其中，精微屏蔽罩收入0.68亿元，精密结构件收入1.95亿元，精微连接器及零组件收入0.04亿元，半导体芯片测试探针收入1.44亿元。

2）、华润微集成电路有限公司

华润微是领先的半导体和智能传感器供应商，拥有3条6英寸线，其中MEMS产线是国内规模最大的与CMOS生产线兼容的MEMS传感器量产生产线，具有国内领先水平的MEMS表面和体硅加工技术，用于制造压力、硅麦克风、光电、温湿度等MEMS传感器。

据企业公告数据显示，2024年华润微产品与方案产量417.91亿颗，销量415.46亿颗；封装服务产量63.7亿颗，销量62.45亿颗；晶圆制造产量164.31万片，销量166.98万片；掩模制造产量6.6万块，销量6.66万块。

五、MEMS微纳米制造零部件行业发展趋势

MEMS微纳米制造零部件是“以微纳米精度制造的集成化功能元器件”，其核心竞争力在于“微型化+集成化+批量化”，是连接半导体技术与机械功能的关键桥梁，也是新一代信息技术、先进制造、新能源、生物医药等战略新兴产业的核心基础。

未来，随着科技的不断进步与发展，人们对于微小尺寸以及智能化需求也越来越高。因此，对于MEMS技术的需求也会越来越大。同时，随着制造工艺技术的不断革新，生产成本也会逐渐降低，从而使得更多的领域和企业都能用上这项新技术，同时也会带来新的应用领域涌现，市场规模保持持续增长。

作为目前产业领域的领跑者各大相关企业还需要从工艺技术产品创新质量等多个维度全面入手应对时代带来的一次又一次的变革。未来的MEMS行业不仅是硬件的微小化，更是软硬件深度融合、智能化、低功耗、高集成度和微纳化的发展，以及对高精度模具与加工能力的需求，以满足物联网、消费电子和汽车等领域对高性能、小型化传感器的迫切需求。

以上数据及信息可参考智研咨询（www.chyxx.com）发布的《中国MEMS微纳米制造零部件行业市场全景评估及产业需求研判报告》。智研咨询是中国领先产业咨询机构，提供深度产业研究报告、商业计划书、可行性研究报告及定制服务等一站式产业咨询服务。您可以关注【智研咨询】公众号，每天及时掌握更多行业动态。