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2018年中国电子特气行业市场规模、产量及市场竞争格局分析[图]

2019年07月17日 13:49:06字号:T|T

    电子特种气体是超大规模集成电路、平板显示器件、化合物半导体器件、太阳能电池、光纤等电子工业生产不可或缺的原材料,它们主要应用于薄膜、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等工艺。电子工业服务的电子气品种繁多,用途五花八门,它的分类方法亦较为复杂。一般可按电子气用量的多少分类,也可以按电子气的用途分类。

    电子特气行业产业链的上游主要有氟、硼、磷等原料以及制取设备行业,下游主要是半导体、微电子和太阳能电池等行业,目前,中国半导体产业从之前的千亿扶持计划,到中国制造2025,恰逢新兴增长点的孕育崛起期,中国电子特气产业面临着前所未有的发展机遇。

电子特气行业产业链示意图

资料来源:公开资料整理

    1、电子特气市场规模

    近年来,随着下游集成电路、半导体等电子工业市场的快速发展,我国电子特气市场规模不断增大。智研咨询发布的《2019-2025年中国电子特气市场评估及未来发展趋势报告》数据显示,2018年我国电子特种气体市场规模约132.8亿元,同比2017年的112.4亿元增长了18.15%,近几年我国电子特种气体市场规模及增速情况如下图所示:

2010-2018年中国电子特种气体市场规模情况

资料来源:智研咨询整理

    2018年我国特种电子气体行业市场规模约132.8亿元,其中半导体领域需求市场规模85亿元,电子器件领域需求市场规模约40.1亿元,太阳能及其他领域需求市场规模约7.7亿元。如下图所示:

2011-2018年中国特种电子气体行业细分市场规模情况

资料来源:智研咨询整理

    2、电子特气产量情况

    目前特种气体,主要被欧美企业垄断,我国技术水平与高端集成电路工艺需求还有很大差距,目前国内整体生产规模小、产品纯度不高、各批次产品纯度不稳定。国内从事高纯电子气体生产的企业主要有中船重工 718 所、南大光电、苏州金宏气体、科利德化工、华特气体等。经过多年的努力,718 所、华特气体等单位的 NF3、WF6、C2F6等部分气体产品已经批量应用于国内 8 英寸和12 英寸的集成电路生产线。

    (1)国产高纯氨产能分析

    高纯氨作为电子工业中氮化膜的成膜气体,是化学气相沉积(CVD)重要的“氮”源。国产高纯氨在太阳能领域发挥了巨大的作用。由于国产高纯氨进入市场,改变了国外气体公司垄断市场的局面。

国内主要高纯氨装置产能概况(吨/年)

外资企业
计划产能
住友精化(扬州)有限公司
3000t/a
浙江衢州昭和电子化学材料子公司
1000t/a
联氨精密气体(厦门)有限公司
500t/a
大成(合肥)气体有限公司
3000t/a
液化空气(南通)工业气体有限公司
4000t/a
内资企业
计划产能
空气化工产品公司(三安工厂)
2000t/a
大连保税区科利德化工科技开发有限公司
6000t/a
福建久策气体集团有限公司
3000t/a
湖南高安新材料有限公司
5000t/a
苏州金宏气体股份有限公司
10000t/a
海宁市赢德赛电子有限公司
8000t/a
张家港盈迪特种气体有限公司
1200t/a
浙江建业微电子材料有限公司
2000t/a
湖南郴州湘能电子化学品有限公司
3000t/a

资料来源:公开资料整理

    (2)高纯四氟化碳规模化生产能力

    目前,国内外市场上的四氟化碳主要用于半导体工业中的等离子刻蚀。我国四氟化碳主要生产商有福建永晶科技股份有限公司、雅克股份(成都科美特)、黎明化工研究设计院有限责任公司、四川众力氟业有限责任公司、中核红华特种气体股份有限公司、绥宁县联合化工有限责任公司、北京绿菱气体科技有限公司、光明化工研究设计院、山东锐华氟业有限公司等企业。

2018年我国四氟化碳行业产能分析

资料来源:公开资料整理

    高纯四氟化碳气广泛应用于硅材料的蚀刻,在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。金融危机暴发前,由于国内不具备四氟化碳规模化生产能力,有钱也买不到产品,市场经常出现“有价无货”的现象。但随着国产高纯四氟化碳的入市,现在“有价无货”时代已经结束。

    目前国内市场高纯四氟化碳国产货基本可满足国内需求。我国制氟技术的进步主要得益于军工技术的支撑,中核红华特种气体股份有限公司、黎明化工研究院、中船重工第七一八研究所和天津核工业理化工程研究院等长期以来依托雄厚的技术力量,为我国制氟技术的进步提供了重要的技术支持。

2011-2018年我国四氟化碳年需求量走势

资料来源:智研咨询整理

    (3)高纯氯化氢

    国内企业出产的高纯氯化氢的性能指标与国外同类产物适当,填补了我国电子级氯化氢产物出产的空白,当前已广泛使用于集成电路芯片制造业、硬质合金制造业、医药化工制造业,并批量远销于韩国及东南亚一带。

    高纯氯化氢(HCL),主要应用于大规模集成电路单晶硅片气相抛光,外延机座腐蚀等。氯化氢是一种无色有刺激性气味的气体。易溶于水(遇水是有强腐蚀性)。遇氰化物产生剧毒性气体氰化氢。目前高纯氯化氢已经可以满足国内市场的需求。

国内主要高纯氯化氢产能

企业
高纯氯化氢产能:吨
淄博万达利特种气体公司
2000
巨化股份(博瑞电子科技有限公司)
2000
山东威泰精细化工有限公司
1500

资料来源:智研咨询整理

    (4)电子级六氟化硫(SF6)

    SF6是由电解产生的氟气在中高温下与熔融硫磺反应来制备的,主要用于各种高压电气设备。我国SF6的研制开始于20世纪60年代,经过多年的发展,SF6生产厂家不断增加,目前比较领先的企业有黎明化工研究院和山东锐华氟业有限公司国,SF6年产能分别达到300吨和500吨。

国内主要电子级六氟化硫(SF6)产能

企业
电子级六氟化硫(SF6)产能:吨
黎明化工研究院
300
山东锐华氟业有限公司
500

资料来源:智研咨询整理

    3、市场竞争格局

    经过多年的发展,全球电子特种气体市场已经形成了少数几家气体生产企业占据全球市场大多数份额的市场格局。前四大生产厂商—法国液化空气集团(AL)、德国林德集团(Linde)、美国普莱克斯集团(PRAXAIR)和美国空气化工产品集团(AirProducts)占据绝大部分市场份额,市场高度集中。

    中国电子特种气体市场随着改革开放后经济的高速发展而迅速发展壮大。较早发展起来的是以现场制气为主要供气方式的大宗集中用气市场。20 世纪 80 年代起,外资气体供应商开始进入中国市场,并依靠雄厚的资金实力和丰富的项目运作经验迅速占领了国内现场制气市场。随着国内技术进步和产业转型升级,以杭氧股份、四川空分集团为代表的设备制造商向大型现场制气供应商转型。目前,国内大型现场制气市场形成了外资巨头、国内专业气体供应商、空分设备制造商共同竞争的局面,竞争较为激烈。

2018年中国特种气体行业主要企业占比

资料来源:智研咨询整理 

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