湿电子化学品又称工艺化学品,是微电子、光电子湿法工艺(主要包括湿法刻蚀、湿法清洗)制程中使用的各种液体化工材料。湿电子化学品广泛用于芯片、显示面板、太阳能电池、LED等电子元器件微细加工的清洗、光刻、显影、蚀刻、掺杂等工艺环节配套使用。
按照配方,湿电子化学品可分为通用化学品(通常为超净高纯试剂)和功能性化学品(通常为混配试剂)。
湿电子化学品的分类
湿电子化学品分类 | 试剂类别 | 主要品种 |
通用化学品(超净高纯试剂) | 酸类 | 氢氟酸、硝酸、盐酸、磷酸、硫酸、乙酸 |
碱类 | 氨水、氢氧化钠、氢氧化钾、四甲基氢氧化铵 | |
有机溶剂类 | 醇类:甲醇、乙醇、异丙醇 | |
酮类:丙酮、丁酮、甲基异丁基酮 | ||
酯类:乙酸乙酯、乙酸丁酯、乙酸异戊酯 | ||
烃类:苯、二甲苯、环己烷 | ||
卤代烃类:三氯乙烯、三氯乙烷、氯甲烷、四氯化碳 | ||
其他类 | 双氧水 | |
功能性化学品(配方型) | 复配类 | 显影液、剥离液、清洗液、蚀刻液、稀释液等 |
资料来源:智研咨询整理
为了适应电子信息产业微处理工艺技术水平不断提高的趋势,并规范世界超净高纯试剂的标准,国际半导体设备与材料组织(SEMI)将湿电子化学品按金属杂质、控制粒径、颗粒个数和应用范围等指标制定国际等级分类标准。
高等级湿电子化学品对纯度的要求达到 ppt 级别
SEMI 等级 | 金属杂质 10 -9 | 控制粒径(μm) | 颗粒(个/mL) | 适应 IC 线宽*范围(μm) | 对应国内标准 |
C1 (Grade1) | ≤1000(1ppm) | ≤1.0 | ≤25 | >1.2 | EL 级 |
C7 (Grade2) | ≤10(10ppb) | ≤0.5 | ≤25 | 0.8-1.2 | UP 级 |
C8 (Grade3) | ≤1.0(1ppb) | ≤0.5 | ≤5 | 0.2-0.6 | UP-S 级 |
C12 (Grade4) | ≤0.1 (0.1ppb) | ≤0.2 | 供需双方协定 | 0.09-0.2 | UP-SS 级 |
Grade5 | ≤0.01(10ppt) | 供需双方协定 | 供需双方协定 | <0.09 | UP-SSS 级 |
资料来源:《微电子工业对超净高纯化学品的质量要求》
湿电子化学品主要原材料主要为一般基础化工原料,主要包括硫酸、盐酸、氢氧化钾、氢氧化钠、乙醇、异丙醇以及其他各类添加剂。湿电子化学品作为电子行业的配套行业,与下游行业结合紧密,素有“一代材料、一代产品”之说。新能源、信息通讯、消费电子等行业对湿电子化学品行业有较大的影响。
湿电子化学品行业产业链结构
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我国湿电子化学品产业发展较晚,20世纪80年我国湿电子化学品仍处于初步发展阶段,国内企业规模、技术与国外企业差距较大,2010年后,随着下游平板显示、集成电路产业向我国转移,再加上光伏产业的发展,我国湿电子化学品行业进入快速发展阶段。
中国湿电子化学品行业发展历程
资料来源:智研咨询整理
智研咨询发布的《2020-2026年中国湿电子化学品产品产业运营现状及发展前景分析报告》显示,国内生产湿电子化学品的企业中产品达到国际标准且具有一定生产量的企业有30多家。国内湿电子化学品生产生产商在业务规模、产品类别、战略重心等方面存在一定区别。2009年我国湿电子化学品产量约3.98万吨,到2019年我国湿电子化学品产量达到了50.56万吨。
2011-2019年中国湿电子化学品产量情况
资料来源:智研咨询整理
湿电子化学品是高附加值的精细产品。随着电子工业, 特别是IT 产业的迅速发展, 该类产品在制造印刷电路板、清洗硅晶片和集成电路上的使用量越来越大。到2019年我国湿电子化学品需求量达到了77.19万吨,近几年我国湿电子化学品需求量情况如下图所示:
2011-2019年中国湿电子化学品需求情况
资料来源:智研咨询整理
目前,国内湿电子化学品需求主要分为四个大类:太阳能电池领域用湿电子化学品需求30.3万吨,占比39.25%;液晶面板领域用湿电子化学品需求25.52万吨,占比33.06%;集成电路领域用湿电子化学品需求17.22万吨,占比22.31%;半导体分立器件及其他领域用湿电子化学品需求量4.15万吨,占比5.38%。
2011-2019年中国湿电子化学品需求结构
资料来源:智研咨询整理
综合来看,我国湿电子化学品市场需求格局目前主要以太阳能电池领域发展为主,预计未来一段时间,太阳能电池领域依旧保持湿电子化学品主要需求领域,但随着液晶显示产品的技术革新和新产品应用,液晶显示在湿电子化学品的需求量有望得到一定改善。
2019年中国湿电子化学品需求结构
资料来源:智研咨询整理
2010年我国湿电子化学品产品市场规模为15.02亿元,2019年我国湿电子化学品产品市场规模增长至94.17亿元,2010年以来我国湿电子化学品产品市场规模复合增长率为20.15%。
2011-2019年中国湿电子化学品市场规模及其增长情况
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2024-2030年中国太阳能电池领域湿电子化学品行业市场运营态势及发展前景预测报告
《2024-2030年中国太阳能电池领域湿电子化学品行业市场运营态势及发展前景预测报告》共七章,包含湿电子化学品在太阳能电池硅片制程上应用及其市场现状,太阳能用湿电子化学品生产商情况,光伏领域湿电子化学品市场前景预测等内容。
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